[发明专利]散热基板的制作方法有效
申请号: | 201110342827.7 | 申请日: | 2011-10-25 |
公开(公告)号: | CN102738319A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 张振铨 | 申请(专利权)人: | 欣兴电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥 |
地址: | 中国台湾桃园县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种散热基板的制作方法,包括下列步骤:提供一基板,其中基板包括金属层、绝缘层及第一导电层,绝缘层位于金属层及第一导电层之间,且金属层的厚度大于第一导电层的厚度;移除部分金属层,以形成金属凸块;提供胶合层,其中胶合层包括开口,开口对应金属凸块;提供第二导电层;压合第二导电层、胶合层及基板;于绝缘层及第一导电层形成开孔,其中开孔位于金属凸块的下方;以及于开孔处形成第三导电层。 | ||
搜索关键词: | 散热 制作方法 | ||
【主权项】:
一种散热基板的制作方法,其特征在于,包括下列步骤:提供一基板,其中该基板包括一金属层、一绝缘层及一第一导电层,该绝缘层位于该金属层及该第一导电层之间,且该金属层的厚度大于该第一导电层的厚度;移除部分该金属层,以形成一金属凸块;提供一胶合层,其中该胶合层包括一开口,该开口对应该金属凸块;提供一第二导电层;压合该第二导电层、该胶合层及该基板,其中该胶合层位于该基板上,该第二导电层位于该胶合层上;于该绝缘层及该第一导电层形成一开孔,其中该开孔位于该金属凸块的下方;以及至少于该开孔处形成一第三导电层。
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