[发明专利]一种提高在工具表面制备金刚石涂层的效率及均匀性的方法及其装置

摘要

本发明涉及一种能够提高在杆状硬质合金工具表面制备金刚石涂层的效率及均匀性的方法及其装置。其特征在于它包括如下步骤：1)、将不锈钢板将水冷真空腔体内的空腔分隔成上下位置布置的反应腔和样品储存腔，不锈钢板上设有供样品和样品盒通过的第一孔；反应腔内的热丝采用垂直放置；2)将放置有待处理的工具样品的样品盒放置在样品储存腔内；3)水平移动第一个样品盒至供样品和样品盒通过的第一孔的下方，再沿垂直移动样品盒至反应腔内；4)调节热丝位置；5)放置在第一个样品盒上的工具样品沉积完毕，将第一个样品盒下降至样品储存腔内；6)重复步骤3)-5)，直至所有待处理的工具样品沉积完毕。该方法及装置能够连续地在工具表面制备金刚石涂层，并且金刚石涂层的均匀性好。

主权项

一种提高在工具表面制备金刚石涂层的效率及均匀性的方法，其特征在于它包括如下步骤：1)、在水冷真空腔体内中间设有不锈钢板，不锈钢板将水冷真空腔体内的空腔分隔成上下位置布置的反应腔和样品储存腔，不锈钢板上设有供样品和样品盒通过的第一孔；反应腔内的热丝采用垂直放置；2)将待处理的工具样品的工具柄部放置在样品盒上，待处理的工具样品的工具刀刃部位于样品盒外，将放置有待处理的工具样品的样品盒放置在样品储存腔内；3)水平移动第一个样品盒至供样品和样品盒通过的第一孔的下方，再沿垂直移动样品盒至反应腔内；4)通过调节热丝位置，从而调节热丝与待处理的工具样品的工具刀刃部位的距离为8‑30mm；5)反应腔和样品储存腔抽真空，反应气体压力1.5‑6KPa，热丝的功率600‑50000W；反应时间为1～4小时，放置在第一个样品盒上的工具样品沉积完毕后，将第一个样品盒下降至样品储存腔内；6)重复步骤3)‑5)，直至所有待处理的工具样品沉积完毕。