[发明专利]一种提高在工具表面制备金刚石涂层的效率及均匀性的方法及其装置

权利要求书

1.一种提高在工具表面制备金刚石涂层的效率及均匀性的方法，其特征在于它包括如下步骤：

1)、在水冷真空腔体内中间设有不锈钢板，不锈钢板将水冷真空腔体内的空腔分隔成上下位置布置的反应腔和样品储存腔，不锈钢板上设有供样品和样品盒通过的第一孔；反应腔内的热丝采用垂直放置；

2)将待处理的工具样品的工具柄部放置在样品盒上，待处理的工具样品的工具刀刃部位于样品盒外，将放置有待处理的工具样品的样品盒放置在样品储存腔内；

3)水平移动第一个样品盒至供样品和样品盒通过的第一孔的下方，再沿垂直移动样品盒至反应腔内；

4)通过调节热丝位置，从而调节热丝与待处理的工具样品的工具刀刃部位的距离为8-30mm；

5)反应腔和样品储存腔抽真空，反应气体压力1.5-6KPa，热丝的功率600-50000W；反应时间为1～4小时，放置在第一个样品盒上的工具样品沉积完毕后，将第一个样品盒下降至样品储存腔内；

6)重复步骤3)-5)，直至所有待处理的工具样品沉积完毕。

2.根据权利要求1所述的一种提高在工具表面制备金刚石涂层的效率及均匀性的方法，其特征在于：所述的热丝垂直放置是通过悬挂吊锤使之始终保持垂直。

3.根据权利要求1所述的一种提高在工具表面制备金刚石涂层的效率及均匀性的方法，其特征在于：所述的热丝根据需要设置单根或多根，在多根热丝情况下，热丝间距可调。

4.根据权利要求1所述的一种提高在工具表面制备金刚石涂层的效率及均匀性的方法，其特征在于：所述的样品盒内放置有多个待处理的工具样品，待处理的工具样品的工具柄部平行排列在盒里面。

5.实现权利要求1所述的方法的制备金刚石涂层工具的装置，其特征在于它包括水冷真空腔体(11)，水冷真空腔体(11)内中间设有不锈钢板，不锈钢板将水冷真空腔体(11)内的空腔分隔成上下位置布置的反应腔和样品储存腔，不锈钢板上设有供样品和样品盒通过的第一孔，水冷真空腔体(11)的上部设有进气口(8)，进气口(8)与反应腔相连通，水冷真空腔体(11)的下部设有真空抽气口(7)、供样品盒垂直移动控制柄通过的第二孔、供样品盒水平移动控制柄通过的第三孔；上水冷电极1设置在水冷真空腔体(11)的上端部，上水冷电极(1)的上端位于水冷真空腔体(11)外并与电源相连，上水冷电极(1)的下端位于反应腔内并与热丝3的上端相连，热丝(3)的下端悬挂吊锤(4)，下水冷电极(2)设置在不锈钢板上，下水冷电极(2)与热丝(3)相接触，热丝(3)、吊锤(4)和下水冷电极(2)位于反应腔内；样品盒垂直移动导轨(5)的上部穿过供样品和样品盒通过的第一孔并位于反应腔内，样品盒垂直移动导轨(5)的下部位于样品储存腔内，样品盒垂直移动导轨(5)上设有能够上下往复运动的机构；样品储存腔内设有样品盒水平移动导轨(6)，样品盒(14)设置在样品盒水平移动导轨(6)上，样品盒(14)与样品盒水平移动控制柄(10)的一端相勾挂，样品盒水平移动控制柄(10)的另一端穿过供样品盒水平移动控制柄通过的第三孔后位于水冷真空腔体(11)外。

6.根据权利要求5所述的制备金刚石涂层工具的装置，其特征在于：所述的待处理的工具样品为杆状硬质合金工具。

7.根据权利要求5所述的制备金刚石涂层工具的装置，其特征在于：所述的水冷真空腔体11的上端设有供上水冷电极1移动的长槽，上水冷电极1的上部位于长槽内，水冷真空腔体11的长槽处设有能随上水冷电极1移动的用于封闭的封闭板。

8.根据权利要求5所述的制备金刚石涂层工具的装置，其特征在于：所述的样品储存腔内的样品盒为多个，多个样品盒平行竖直排列放置在样品盒水平移动导轨(6)上。