[发明专利]一种内外桁架式三框架微机械陀螺结构

摘要

本发明属于微机械陀螺结构技术领域，涉及一种内外桁架式三框架微机械陀螺结构。结构包括外框、内框及中间框，外框包括两根分离块和两组桁架梁，其中每组桁架梁包括两根折叠梁及一根桁架，每个分离块的外部设有梳齿电极，每根桁架梁的两端分别连接一个折叠梁，两组桁架梁通过分离块连接，形成外框，外框通过四根折叠梁固定在结构外端锚点上，外框左右两部分通过桁架连接成完整框架；中间框的两端为分离式双折叠梁，外框与中间框之间用分离式双折叠梁连接；中间框同内框之间通过桁架式双折叠梁连接，内框的内部设有梳齿电极，内框通过四根分离式双折叠梁连接于陀螺结构内部的锚点上。本发明降低了无用质量块质量，提高了陀螺敏感度；特殊的六边形孔结构，使结构强度损失最小化；台阶形梳齿电极形状，提高陀螺性能稳定性。

主权项

一种内外桁架式三框架微机械陀螺结构，其特征是，结构包括外框(1)、内框(3)及中间框(2)，外框(1)包括两根分离块(1a、1b)和两组桁架梁(9)，其中每组桁架梁包括两根折叠梁(8)及一根桁架(9)，每个分离块(1a、1b)的外部设有梳齿电极，每根桁架梁的两端分别连接一个折叠梁(8)，两组桁架梁(9)通过分离块(1a、1b)连接，形成外框(1)，外框(1)通过四根折叠梁固定在结构外端锚点(7)上；中间框(2)的两端为折叠梁(10)，外框(1)与中间框(2)之间用折叠梁(10)连接；中间框(2)同内框(3)之间通过桁架式折叠梁(12)连接，内框(3)的内部设有梳齿电极，内框(3)通过四根折叠梁(14)连接于陀螺结构内部的锚点(13)上。