[发明专利]一种内外桁架式三框架微机械陀螺结构

权利要求书

1.一种内外桁架式三框架微机械陀螺结构，其特征是，结构包括外框(1)、内框(3)及中间框(2)，外框(1)包括两根分离块(1a、1b)和两组桁架梁(9)，其中每组桁架梁包括两根折叠梁(8)及一根桁架(9)，每个分离块(1a、1b)的外部设有梳齿电极，每根桁架梁的两端分别连接一个折叠梁(8)，两组桁架梁(9)通过分离块(1a、1b)连接，形成外框(1)，外框(1)通过四根折叠梁固定在结构外端锚点(7)上；中间框(2)的两端为折叠梁(10)，外框(1)与中间框(2)之间用折叠梁(10)连接；中间框(2)同内框(3)之间通过桁架式折叠梁(12)连接，内框(3)的内部设有梳齿电极，内框(3)通过四根折叠梁(14)连接于陀螺结构内部的锚点(13)上。

2.根据权利要求1所述的一种内外桁架式三框架微机械陀螺结构，其特征是，所述的外框、内框及桁架梁上均匀开有工艺孔。

3.根据权利要求2所述的一种内外桁架式三框架微机械陀螺结构，其特征是，所述的外框、内框及桁架梁上均匀开有工艺孔，工艺孔采用六边形，并呈蜂窝状排列。

4.根据权利要求1所述的一种内外桁架式三框架微机械陀螺结构，其特征是，所述的内框(3)的内部设有梳齿电极，其变间隙梳齿采用梯形结构，梳齿根部采用台阶结构形式。