[发明专利]晶片的分离方法及分离装置

摘要

本发明提供一种晶片的分离方法及分离装置，其在从呈多片晶片层叠的状态的层叠晶片组分离晶片、将分离后的晶片一片一片地移动运载到规定部位的作业中，通过尽量不对分离的晶片施加因摩擦、变形等而产生的应力而防止破损，由此能够进一步提高晶片的合格率、稳定供给晶片。该晶片的分离装置具有：水槽(2)；配设在水槽(2)的水面附近的位置的喷嘴(3)；保持层叠晶片组(7)、使层叠晶片组(7)向由水面侧的喷嘴产生的水的入水部移动的晶片供给机(4)；保持从层叠晶片组(7)分离的晶片并移动运载到规定部位的晶片移动机(5)，该喷嘴配置为：使喷出的水在水面取得空气，在水中产生含有水和多个气泡的气液混合流。

主权项

一种晶片分离方法，其特征在于，该方法通过使含有液体和气泡的气液混合流与在液体中的层叠晶片组的层叠面碰触，从呈多片晶片层叠的状态的所述层叠晶片组分离晶片，所述气液混合流含有的气泡，是通过向液面喷出的液体与液面进行碰撞而在气液界面被取得的气体产生的气泡。