[发明专利]一种透明柔性阻变存储器及其制备方法无效
申请号: | 201110195121.2 | 申请日: | 2011-07-13 |
公开(公告)号: | CN102881822A | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
发明(设计)人: | 黄如;唐昱;蔡一茂;张丽杰;杨庚雨;谭胜虎;潘越;唐粕人 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;H01L51/00 |
代理公司: | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人: | 李稚婷 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种透明柔性阻变存储器及其制备方法,包括一透明的柔性衬底和衬底上的MIM电容结构的器件单元,所述器件单元的底层和顶层为透明柔性电极,中间功能层为聚对二甲苯透明薄膜。聚对二甲苯材料具有良好的阻变特性,器件中衬底、电极和中间功能层均采用透明柔性材料制备,得到全透明的柔性阻变存储器,可应用于透明柔性电子系统中。 | ||
搜索关键词: | 一种 透明 柔性 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种阻变存储器,包括一透明的柔性衬底,衬底之上是MIM电容结构的器件单元,所述器件单元的底层和顶层为透明柔性电极,中间功能层为聚对二甲苯透明薄膜。
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