[发明专利]测试结构及测试方法有效
| 申请号： | 201110161459.6 | 申请日： | 2011-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102832201A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 冯军宏;甘正浩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G01B7/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种测试结构，包括若干行导电层和列导电层，相邻层的行导电层和列导电层交叉排列，在交叉位置通过与行导电层或列导电层边缘不同间距的导电插塞电连接；第一选择单元和第二选择单元，所述第一选择单元与若干行导电层分别相连，用于选择其中一行行导电层连通电信号，所述第二选择单元与若干列导电层分别相连，用于选择其中一列列导电层连通电信号；第一测试端口和第二测试端口，所述第一测试端口与第一选择单元相连，所述第二测试端口与第二选择单元相连。本发明还提供一种使用所述检测结构的检测方法。使用所述测试结构可测试导电插塞和导电层边缘的最小间距，且节约了测试基板的面积，提高了检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种测试结构，其特征在于，包括若干行导电层和列导电层，相邻层的行电层和列导电层交叉排列，在交叉位置通过与行导电层或列导电层边缘不同间距的导电插塞电连接；第一选择单元和第二选择单元，所述第一选择单元与若干行导电层分别相连，用于选择其中一行行导电层连通电信号，所述第二选择单元与若干列导电层分别相连，用于选择其中一列列导电层连通电信号；第一测试端口和第二测试端口，所述第一测试端口与第一选择单元相连，所述第二测试端口与第二选择单元相连。
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