[发明专利]固体摄像装置

摘要

本发明提供一种具有半导体基板的固体摄像装置。半导体基板具有相互对置的第1和第2主面，具有从第1主面延伸到第2主面的贯通孔。摄像元件部形成在从所述半导体基板的第1主面外延的表面区域。第1绝缘膜为形成在所述第1主面上的层间绝缘膜。布线电极形成在所述层间绝缘膜中，与所述摄像元件部连接。第2绝缘膜覆盖在所述贯通孔的表面上和所述第2主面上，且所述布线电极的至少一部分不被覆盖，含有遮蔽红外线的多个粒子，遮蔽红外线，透过可见光。导电体膜与所述布线电极接触，且形成在所述第2绝缘膜上，引出到所述第2主面侧。

主权项

一种固体摄像装置，其特征在于，具备：半导体基板，具有相互对置的第1和第2主面，具有从第1主面延伸到第2主面的贯通孔；摄像元件部，形成在从所述半导体基板的第1主面外延的表面区域；第1绝缘膜，为形成在所述第1主面上的层间绝缘膜；布线电极，形成在所述层间绝缘膜中，与所述摄像元件部连接；第2绝缘膜，覆盖在所述贯通孔的表面上和所述第2主面上，且所述布线电极的至少一部分不被覆盖，含有遮蔽红外线的多个粒子，遮蔽红外线，透过可见光；及导电体膜，与所述布线电极接触，且形成在所述第2绝缘膜上，引出到所述第2主面侧。