[发明专利]固体摄像装置

权利要求书

1.一种固体摄像装置，其特征在于，具备：

半导体基板，具有相互对置的第1和第2主面，具有从第1主面延伸到第2主面的贯通孔；

摄像元件部，形成在从所述半导体基板的第1主面外延的表面区域；

第1绝缘膜，为形成在所述第1主面上的层间绝缘膜；

布线电极，形成在所述层间绝缘膜中，与所述摄像元件部连接；

第2绝缘膜，覆盖在所述贯通孔的表面上和所述第2主面上，且所述布线电极的至少一部分不被覆盖，含有遮蔽红外线的多个粒子，遮蔽红外线，透过可见光；及

导电体膜，与所述布线电极接触，且形成在所述第2绝缘膜上，引出到所述第2主面侧。

2.如权利要求1记载的固体摄像装置，其特征在于，还具备：

绝缘保护膜，形成在所述导电体膜上。

3.如权利要求1记载的固体摄像装置，其特征在于，还具备：

黑色绝缘膜，覆盖所述绝缘保护膜。

4.如权利要求1记载的固体摄像装置，其特征在于，

所述第2绝缘膜具有将所述多个粒子分散到树脂之中的结构。

5.如权利要求4记载的固体摄像装置，其特征在于，

所述多个粒子的表面被绝缘膜覆盖。

6.如权利要求4记载的固体摄像装置，其特征在于，

所述多个粒子包含从SnO₂-Sb₂O₃系氧化物或In₂O₃-SnO₂系氧化物中选出的至少一种。

7.如权利要求1记载的固体摄像装置，其特征在于，

所述布线电极设置在所述贯通孔之上。

8.如权利要求4记载的固体摄像装置，其特征在于，

所述多个粒子的平均直径为100nm以下。

9.如权利要求4记载的固体摄像装置，其特征在于，

所述多个粒子的平均直径为10～50nm。

10.如权利要求1记载的固体摄像装置，其特征在于，

在所述贯通孔和所述布线电极间的层间绝缘膜的一部分形成有凹孔，埋入所述导电体膜的一部分。

11.如权利要求1记载的固体摄像装置，其特征在于，

第2绝缘膜层叠在从氧化膜或氮化膜中选出的至少一种膜上。

12.一种固体摄像装置，其特征在于，具备：

半导体基板，具有相互对置的第1和第2主面，具有从第1主面延伸到第2主面的贯通孔；

摄像元件部，形成在从所述半导体基板的第1主面外延的表面区域；

第1绝缘膜，为形成在所述第1主面上的层间绝缘膜；

布线电极，形成在所述层间绝缘膜中，与所述摄像元件部连接；

第2绝缘膜，覆盖在所述贯通孔的表面上和所述第2主面上，且所述布线电极的至少一部分不被覆盖；

导电体膜，形成为覆盖所述第2绝缘膜，与所述布线电极接触，引出到所述第2主面侧；及

第3绝缘膜，覆盖所述导电体膜，含有遮蔽红外线的多个粒子，遮蔽红外线，透过可见光。

13.如权利要求12记载的固体摄像装置，其特征在于，还具备：

绝缘保护膜，形成在所述导电体膜和第3绝缘膜之间。

14.如权利要求12记载的固体摄像装置，其特征在于，还具备：

黑色绝缘膜，覆盖所述第3绝缘膜。

15.如权利要求12记载的固体摄像装置，其特征在于，

所述第3绝缘膜具有将所述多个粒子分散到树脂之中的结构。

16.如权利要求15记载的固体摄像装置，其特征在于，

所述多个粒子的表面被绝缘膜覆盖。

17.如权利要求15记载的固体摄像装置，其特征在于，

所述多个粒子包含从SnO₂-Sb₂O₃系氧化物或In₂O₃-SnO₂系氧化物中选出的至少一种。