[发明专利]自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统

摘要

本发明公开了一种自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统，其装置的连接为：装有反应气体和氮气的第一钢瓶和第二钢瓶分别经过电磁阀，连接到膨胀室，膨胀室的另一端与刻蚀室连接，刻蚀室连接挡油阱，挡油阱的另一端连接真空泵，第二钢瓶的另一路直接连接到刻蚀室。在膨胀室和刻蚀室、刻蚀室与挡油阱之间都放置电磁阀和针阀，通过控制上述电磁阀和针阀控制通放气和气流的大小。并在膨胀室和刻蚀室上各连接气压计，通过检测气压和控制各处电磁阀的开关实现脉冲刻蚀。最终实现低成本、高效率和高质量的自动化气体脉冲刻蚀。

主权项

一种自动化气体脉冲刻蚀装置，其特征在于，包括：装有反应气体的第一钢瓶，经第一针阀和第一电磁阀与所述第一钢瓶通路连接的膨胀室；分两通路设置的装有氮气的第二钢瓶，其一通路经第二针阀和第二电磁阀连接于所述膨胀室，另一通路经第三针阀和第四电磁阀连接于刻蚀室；所述膨胀室和所述刻蚀室之间经第五针阀和第五电磁阀通路相连；分别设置于所述膨胀室和所述刻蚀室相连的通路端口的第二气压计和第一气压计；一端通过通路经第四针阀和第四电磁阀与所述刻蚀室相连的挡油阱，另一端与真空泵相连接。