[发明专利]抗反射涂料组合物及其工艺方法有效
| 申请号： | 201080054063.5 | 申请日： | 2010-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN102630246A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | M·D·拉赫曼;D·麦肯齐;姚晖蓉;赵俊衍;易毅;林观阳 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | C09D165/00 | 分类号： | C09D165/00;C08K5/13;G03F7/09;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘明海 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： |
本发明涉及一种抗反射涂料组合物，含有交联剂和能够通过所述交联剂被交联的可交联聚合物，其中所述可交联聚合物含有结构式(1)所表示的单元，其中A是稠合的芳环，B具有结构式(2)，其中R1是C1-C4烷基，R2是C1-C4烷基。本发明进一步涉及一种使用该组合物形成图像的方法。 |
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| 搜索关键词： | 反射 涂料 组合 及其 工艺 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抗反射涂料组合物，含有交联剂和能够通过所述交联剂被交联的可交联聚合物，其中所述可交联聚合物含有结构式(1)所表示的单元：![]()
其中A是稠合的芳环，B具有结构式(2)，![]()
其中R1是C1-C4烷基，R2是C1-C4烷基。
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