[发明专利]二氧化硅容器及其制造方法

摘要

本发明是一种二氧化硅容器的制造方法，所述制造方法先制作Li、Na、K的合计浓度在50wt.ppm以下的基体形成用原料粉及含有Ca、Sr、Ba合计为50～2000wt.ppm的内层形成用粉，然后在模框内形成基体的暂时成形体，并在其内表面上形成内层的暂时成形体，而在以超过10vol.％的比率含有氢或氦或这些气体的混合气体的气体气氛中，通过放电加热熔融法来从基体和内层的暂时成形体的内侧进行加热，而将基体的暂时成形体的外周部分作成烧结体，并且将基体的暂时成形体的内周部分和内层的暂时成形体作成熔融玻璃体，由此来制造一种二氧化硅容器，所述二氧化硅容器具有：基体，其在外周部分含有气泡；及内层，其被形成在该基体的内表面上，并由透明二氧化硅玻璃所构成。由此，提供一种二氧化硅容器的制造方法及这样的二氧化硅容器，该二氧化硅容器的制造方法，能够以低成本来制造出具有高尺寸精确度及高耐热性的二氧化硅容器。

主权项

一种二氧化硅容器的制造方法，其特征在于：用以制造二氧化硅容器，所述二氧化硅容器具备：基体，其具有旋转对称性，以二氧化硅作为主成分，且至少在外周部分含有气泡；及内层，其被形成在该基体的内表面上，并由透明二氧化硅玻璃所构成；其中，所述二氧化硅容器的制造方法至少含有：制作二氧化硅粉的工序，所述二氧化硅粉是作为用来形成前述基体的原料粉，其粒径为10～1000μm，含有合计浓度为50wt.ppm以下的Li、Na、K；制作另一种二氧化硅粉的工序，所述二氧化硅粉是作为用来形成前述内层的原料粉，其粒径为10～1000μm，含有合计为50～2000wt.ppm的Ca、Sr、Ba的至少一种；作出基体的暂时成形体的工序，所述工序是将前述基体形成用原料粉投入至模框内，并一边使该模框旋转，一边暂时成形为规定形状，而作出基体的暂时成形体；作出内层的暂时成形体的工序，所述工序是将前述内层形成用原料粉导入至前述基体的暂时成形体的内表面上，并对应于前述基体的暂时成形体的内表面，暂时成形为规定形状，而作出内层的暂时成形体；以及形成前述基体和前述内层的工序，所述工序是在以超过10vol.％的比率含有氢或氦或这些气体的混合气体的气体气氛中，通过放电加热熔融法来从前述基体和内层的暂时成形体的内侧进行加热，而将前述基体的暂时成形体的外周部分作成烧结体，并且将前述基体的暂时成形体的内周部分和前述内层的暂时成形体作成熔融玻璃体，而作出前述基体和前述内层。