[实用新型]具绝缘层的通孔结构有效
申请号: | 201020301621.0 | 申请日: | 2010-01-27 |
公开(公告)号: | CN201655788U | 公开(公告)日: | 2010-11-24 |
发明(设计)人: | 璩泽明 | 申请(专利权)人: | 茂邦电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L23/52;H01L23/12 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 何为 |
地址: | 中国台湾桃园县芦*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种具绝缘层的通孔结构,其包含高温穿孔单元;与高温穿孔单元对应的载板,该载板是于氧环境中以高温穿孔单元产生数个通孔,且各通孔产生时以高温穿孔单元的高温于其内缘分别形成绝缘层;以及分别设于各通孔中的导电介质。藉此,可运用于半导体制程,而达到易于制作以及提高组件可靠度的功效。 | ||
搜索关键词: | 绝缘 结构 | ||
【主权项】:
一种具绝缘层的通孔结构,包括有载板、及导电介质,其特征在于:还包括高温穿孔单元,该载板与该高温穿孔单元对应,而该载板以高温穿孔单元产生数个通孔,并于通孔内缘形成绝缘层;所述导电介质分别设于各通孔中。
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