[实用新型]一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层

摘要

本实用新型为金属有机物化学气相沉积设备中在高温及真空状态下分隔Ⅲ族和Ⅴ族气体所用的水冷夹层。在本实用新型中采用了一种加工制造相对简单的方法实现了上述功能。其结构特点是，所述水冷夹层由上隔板(1)、下隔板(2)、内环(3)、外环(4)构成主体。水冷管(5)、进水水管(6)、出水水管(7)、中间水道隔板(9)、边缘水道隔板(10)构成水冷结构。O型圈(8)密封周边。通过此结构实现了在高温及真空状态下上层反应气体均匀通过夹层，且夹层本身满足密封及水冷的要求。

主权项

一种金属有机物化学气相沉积设备中在高温及真空状态下分隔Ⅲ族和Ⅴ族气体所用的水冷夹层，其特征在于由上下隔板构成的夹层结构，水冷管布置在夹层中间。