[发明专利]高效太阳能电池的制造工艺

摘要

本发明涉及一种高效太阳能电池的制造工艺，包括的步骤有：硅片表面制构(制绒)→扩散→去PSG，刻边→表面钝化减反膜→表面掩膜及图形刻蚀→丝网印刷背电极，背电场→背面烧结→电镀正电极。本发明工艺简单，易于集成，也不会对环境造成污染适合于产业化应用，可以使太阳电池的电池效率提升，达到高效低成本太阳能电池的目标。

主权项

一种高效太阳能电池的制造工艺，其特征在于具有以下步骤：1)在硅片表面制绒，并进行扩散；2)去除表面的磷硅玻璃PSG，进行刻边；3)硅片表面钝化减反膜；4)在硅片表面进行掩膜，形成掩膜层后采用丝网印刷技术在掩膜层上刻蚀正电极图形；5)丝网印刷背电极和背电场，然后背面烧结；6)采用电镀的方法制备正面电极，所用的电镀金属为Ni‑Ag或Ni‑Cu‑Ag。