[发明专利]具有附加转矩补偿功能的双边驱动系统及方法有效
| 申请号： | 201010571481.3 | 申请日： | 2010-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102487261A | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 董俊清;吴立伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | H02P5/46 | 分类号： | H02P5/46 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明具有附加转矩补偿功能的双边驱动系统及方法，是一种用于消除双边驱动过程中产生的附加转矩的系统和方法。本发明通过设置用于补偿第一载台所受转矩的第二方向的行程补偿电机和用于控制所述第二方向的行程补偿电机的第一载台转矩补偿闭环控制单元，可以消除第一载台由于所述两个第一方向的行程电机不同步以及由于两个第二方向的行程电机不同步所受的转矩。本发明相对采用二维电机的方案而言，第一方向的行程电机和第二方向的行程补偿电机之间的串扰会比较小，因此，各部件工作更加可靠。同时本发明也免除了选择柔性件所需的反复计算和试验过程。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 附加 转矩 补偿 功能 双边 驱动 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种具有附加转矩补偿功能的双边驱动系统，包括：底座、第一载台、设置于底座和第一载台之间并用于双边驱动第一载台的两个第一方向的行程电机、分别用于测量对应的第一方向的行程电机位移的两个第一方向的行程测量单元和第一行程测量变换单元，其特征在于，所述双边驱动系统还包括：用于控制所述两个第一方向的行程电机的第一载台位移闭环控制单元、用于补偿第一载台转矩的第二方向的行程补偿电机和用于控制所述第二方向的行程补偿电机的第一载台转矩补偿闭环控制单元，其中，第二方向的行程补偿电机设置于底座和第一载台之间，第二方向与第一方向相互垂直设置；所述两个第一方向的行程测量单元将测得的所述两个第一方向的行程电机的位移测量值输出到所述第一行程测量变换单元，所述第一行程测量变换单元将接收到的数据处理得到第一载台位移测量值和第一载台转矩测量值后，将所述第一载台位移测量值反馈到第一载台位移闭环控制单元并产生对两个第一方向的行程电机的控制力信号，从而形成对第一载台的位移的闭环控制，另将所述第一载台转矩测量值反馈到第一载台转矩补偿闭环控制单元并产生对第二方向的行程补偿电机的控制力信号，从而形成对第一载台所受的转矩补偿的闭环控制。
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