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[发明专利]一种梯形图在线编辑方法-CN201710213975.6有效
发明人：邱志远;刘柏严;董俊清;张晖;穆珊珊 -专利权人：贝加莱工业自动化(中国)有限公司
申请日： 2017-04-01 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：本发明提供一种梯形图在线编辑系统及方法，梯形图在线编辑系统包括：代码实现模块和界面操作模块；界面操作模块包括：梯形图矩阵编辑模块，在现有的梯形图的特定位置插入新的梯形图；梯形图矩阵管理模块，通过载入CSV文件或梯形图矩阵编辑模块重新编辑得到当前梯形图矩阵，保存之后全局使能；文件管理模块，载入、保存和刷新CSV文件；代码实现模块支撑梯形图矩阵编辑模块，根据输入计算输出结果。本发明的梯形图在线编辑系统及方法在针对某种机型成熟方案的基础上，允许用户进行一些简单自定义的改动，并通过本发明赋予相应的逻辑，节省了二次开发的时间和成本。
一种梯形在线编辑系统方法

[实用新型]旋转倒立摆-CN201620864305.1有效
发明人：刘柏严;董俊清;邱志远;穆珊珊 -专利权人：贝加莱工业自动化（中国）有限公司
申请日： 2016-08-10 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： G09B25/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种旋转倒立摆，其特征在于，包括底座，支撑立柱，竖直连接在所述底座上；支撑框架，固定连接在所述支撑立柱的上端；摆臂，一端转动连接在所述支撑框架上；第一飞轮，转动连接在摆臂的另一端；第一电机，与所述第一飞轮连接，固定安装在所述摆臂上，带动所述第一飞轮转动；编码器，与摆臂相连接，测量摆臂的晃动。本实用新型的旋转倒立摆，由于采用了摆臂、支架和第一飞轮，因此不仅能够演示和研究上端维持稳定的状态。也能够研究和演示下端起摆过程中的状态。
旋转倒立

[实用新型]港机防摇模型-CN201620879600.4有效
发明人： 董俊清;张晖;刘柏严 -专利权人：贝加莱工业自动化（中国）有限公司
申请日： 2016-08-12 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： B66C13/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种港机防摇模型，包括：支架，第一导轨转动轴，设置在支架的一端，同步带，水平设置在支架的顶端；滑块，固定在同步带上；收卷轮，设置在滑块上；绕线固定点，设置在滑块上；第一定滑轮，固定在支架上；第三定滑轮，固定在支架上；第二动滑轮，设置在第三定滑轮的下方；第四定滑轮，固定在支架上；第一绕线；第二定滑轮，设置在滑块上；第一动滑轮，悬挂负载；第二绕线，一端与收卷轮连接，经过第二定滑轮和第一动滑轮后，固定在绕线固定点上。本实用新型的港机防摇模型，由于只用简单的机械设计及绕线方式，就可以实现变绳长的防摇需求，同时兼顾了水平向和垂向的运动。
港机防摇模型

[发明专利]工件台和掩模台的同步控制方法及其系统-CN201210041399.9有效
发明人：杨晓燕;董俊清;吴立伟 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-02-22 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：提供了一种工件台和掩模台的同步控制方法，所述工件台和所述掩模台安装在光刻机的整机框架上，包括以下步骤：获取所述工件台的伺服误差和所述掩模台的伺服误差；将所述工件台的伺服误差减去掩模台的伺服误差除以镜头倍率后的差，再乘以掩模台的伺服刚度并乘以镜头倍率，输入到所述掩模台的力信号处，以进行力信号补偿。本发明提出的同步控制策略相比现有的控制方案，在增加了上述补偿步骤后，有效的提高了工件台掩模台各轴同步稳定时间。
工件掩模台同步控制方法及其系统

[发明专利]一种工件台平衡质量质心测试校准方法-CN201210001422.1有效
发明人：吴立伟;董俊清 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-01-05 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种工件台平衡质量质心测校方法，包含以下步骤：以平衡质量作为测校对象，其水平X、Y自由度开环，Rz自由度闭环；给平衡质量注入运动轨迹，采集平衡质量零速段位移测量输出，将平衡质量的位移数据处理后得到平衡质量的水平向三自由度的位移值；将处理得到的数据代入到质心测校方法中，得到平衡质量质心相对形心的偏心量。通过平衡质量物理传感器的测量值来确定平衡质量质心相对物理传感器测量中心的质心偏差，该方法简单实用，不需要增加额外的测试装置。
一种工件平衡质量质心测试校准方法

[发明专利]具有掩模交接保护功能的掩模台、方法及光刻设备-CN201110282348.0有效
发明人：江旭初;李生强;董俊清;徐涛 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-09-22 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种具有掩模交接保护功能的掩模台，设置在一基台上，包括：运动台，承载掩模；驱动机构，驱动运动台相对基台运动；一掩模交接保护模块，包括固定在基台上的固定装置以及固定连接承片台的定位装置，所述固定装置设有一可动的锁紧部，该锁紧部连接所述定位装置时固定所述承片台。本发明同时公开一种使用该具有交接保护功能的掩模台的方法及一种光刻设备。
具有交接保护功能掩模台方法光刻设备

[发明专利]一种工件台质量测校方法-CN201110241779.2有效
发明人：吴立伟;董俊清 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-08-22 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种工件台质量测校方法，工件台上安装有电机动子，位于工件台下方的平衡质量上安装有电机定子，包括规划工件台的匀速运动轨迹；电机驱动工件台按照规划的匀速运动轨迹做匀速运动，平衡质量受到工件台的作用力做相应的匀速运动，工件台采用闭环控制，平衡质量采用开环控制；根据平衡质量的位移、工件台相对于平衡质量的位移分别计算获得平衡质量的速度vbm_rel、工件台相对于平衡质量的速度vls2bm_rel；根据工件台相对于平衡质量的速度vls2bm_rel计算获得电机的磁铁扰动力频率fcog；根据磁铁扰动力频率fcog和平衡质量的质量mbm_rel计算获得工件台和平衡质量的质量比κ和工件台的质量mls。本方法简单实用、不需要特别设计算法，便于在线测试。
一种工件质量校方

[发明专利]一种工件台质量测校方法-CN201110193001.9有效
发明人：吴立伟;董俊清 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-07-11 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： G01G19/00 文献下载
摘要：一种工件台质量测校方法，包括设定工件台的设定加速度、工件台与平衡质量的设定质量比，规划工件台的匀加速运动轨迹；闭环控制工件台和平衡质量，工件台根据规划的匀加速运动规划轨迹做匀加速运动，平衡质量受到工件台的作用力相应做匀加速运动；根据工件台的光栅尺闭环计算获得工件台相对于平衡质量的加速度，根据平衡质量做匀加速运动时的平衡质量控制器输出力计算获得平衡质量的加速度偏差；根据平衡质量的加速度偏差、工件台的设定加速度、工件台与平衡质量的设定质量比、平衡质量的质量及工件台相对于平衡质量的加速度计算获得工件台和平衡质量的实际质量比、工件台的质量。本发明简单实用、不需要特别设计算法，便于在线测试。
一种工件质量校方

[发明专利]用于光刻设备的粗动台的质心测校的方法-CN201110113563.8有效
发明人：吴立伟;董俊清 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-05-03 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种用于光刻设备的粗动台的质心测校的方法，用于测试粗动台的质心相对形心的偏移量，包括：对所述粗动台的水平X、Y、Rz三自由度均闭环控制后变换为粗动台坐标系；预估所述X向及Y向质心所处范围并N等分，将所述等分点作为质心偏心量；利用所述质心偏心量进行补偿计算及测校计算后获得N组Rz的位置偏差数据；将N组Rz的位置偏差数据的最小值与设定的Rz偏差阈值进行比较，如果小于所述Rz偏差阈值则测试完成，否则选择Rz值最小的该组测试对应的偏心量的前后两个偏心量值作为新的质心范围并重新计算直至最终测试的Rz向误差值小于阈值。
用于光刻设备粗动台质心方法

[发明专利]具有附加转矩补偿功能的双边驱动系统及方法-CN201010571481.3有效
发明人： 董俊清;吴立伟 -专利权人：上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2010-12-02 - 公布日： 2012-06-06 - 主分类号： H02P5/46 文献下载
摘要：本发明具有附加转矩补偿功能的双边驱动系统及方法，是一种用于消除双边驱动过程中产生的附加转矩的系统和方法。本发明通过设置用于补偿第一载台所受转矩的第二方向的行程补偿电机和用于控制所述第二方向的行程补偿电机的第一载台转矩补偿闭环控制单元，可以消除第一载台由于所述两个第一方向的行程电机不同步以及由于两个第二方向的行程电机不同步所受的转矩。本发明相对采用二维电机的方案而言，第一方向的行程电机和第二方向的行程补偿电机之间的串扰会比较小，因此，各部件工作更加可靠。同时本发明也免除了选择柔性件所需的反复计算和试验过程。
具有附加转矩补偿功能双边驱动系统方法

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