[发明专利]一种鳍型隧穿晶体管集成电路及其制造方法

摘要

本发明属于半导体集成电路制造技术领域，具体为一种鳍型隧穿晶体管集成电路及其制备方法。在基于绝缘体上的硅衬底的基础上，在隧穿晶体管中采用鳍型栅结构，并且采用高k介质作为栅介质，采用低k介质作为边墙材料。本发明所提出的鳍型隧穿晶体管集成电路，在提高集成电路驱动电流的同时，可以加快集成电路的开关速度，降低芯片功耗。进一步地，本发明还公开了所述鳍型隧穿晶体管集成电路的制造方法。

主权项

一种鳍型隧穿晶体管集成电路，其特征在于，该隧穿晶体管集成电路基于绝缘体上的硅衬底，在所述隧穿晶体管中采用鳍型栅结构，并且采用高k介质作为栅介质，采用低k介质做为边墙材料。