[发明专利]用于排出线的加热管及半导体工程的排出线结构无效

专利信息
申请号: 201010262457.1 申请日: 2010-08-25
公开(公告)号: CN102022601A 公开(公告)日: 2011-04-20
发明(设计)人: 朴英洙 申请(专利权)人: 朴英洙
主分类号: F16L53/00 分类号: F16L53/00;H01L21/67
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 金龙河;樊卫民
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明中提供一种用于排出线的加热管及半导体工程的排出线结构,其特征为:两端上有形成凸缘部的金属材料的波纹管,上述波纹管的外周面有以螺旋形状卷上的热线部,上述热线部的外侧有耐热绝缘材料,上述耐热绝缘层的外侧有保温材料,还包括压入在上述波纹管的两端的保温材料外侧的环状压入帽。根据本发明,在维持排气管要求的高温下,可以预防在排气管中形成粉末而沉积的现象。
搜索关键词: 用于 出线 热管 半导体 工程 结构
【主权项】:
一种用于排出线的加热管,其特征在于,两端的由凸缘部形成的金属材料管;上述管的外周面上以螺旋状卷上的热线部;位于上述热线部外侧的耐热绝缘材料;位于上述耐热绝缘材料外侧的保温材料;压入在上述管的两端的保温材料外侧的环状压入帽;上述热线部的内部形成收容空间,收容空间的中间部位有隔壁形成的带状箱子,由上述隔壁隔开的一侧空间部有(+)极热线,另一侧为(‑)极热线。
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