[发明专利]用于排出线的加热管及半导体工程的排出线结构

说明书

技术领域

本发明涉及用于排出线的加热管及半导体工程的排出线的结构，更具体地说是有关使管子的温度维持在一定温度(150～190℃)下，预防在排气管的曲折部位形成粉末沉积的技术。

背景技术

一般，半导体制造工程是在工程室中，使用工程气体和反应气体来进行，工程结束后，少量的残留气体及反应物，比如说粉末等，会通过排气管排出去。

图1所示的是一般的半导体制造工程中排气管的构造。

一般，在化学气相沉积设备中，化学气相沉积工程结束后，从工程室(100)排除的气体通过排气管(400)排到气体清洁器(200)时，排气管的内部会有微细的尘装粉末，这种粉末的形成原因取决于排气管的温度，压力，排气的成分。

微细的尘装粉末集聚在排气管的内壁，导致排气压的下降，因此引起的设备损坏及因排气管的堵塞形成的排气逆流现象，因而导致工程不良和因排气管的堵塞引起的真空泵的性能降低现象。

为了解决这样的问题，国内公共专利10-2005-0117331号及10-2007-0054984号提示了在排气管上安装加热夹克的技术。

但是，上述的加热夹克的附着性很差，所以在排气管和其中间产生空气层，导致热传递的效能降低，不但如此，以往的排气管为平滑管，所以在安装时，需要曲折，因此流体会以管壁形成冲突，使其压力上升，在管的连接部位的弯管生成粉末。

在韩国专利10-0860593号中，为了解决加热夹克的问题，提示了另一种管子结构。如图2所示，把置于半导体设备的气体排气管上的排气管制造成双重波纹管的形状，双重波纹管的内部装上热线，通过波纹管的灵活的特性，可以使流体的冲突度变为最小。

但是，上述的专利需要报波纹管制造成双重波纹管的形态，这样的制造过程不仅很难，而且，双重的波纹管互相结合时，会导致工作效率的降低。

不但如此，在2个波纹管之间介入热线会妨碍波纹管的灵活性，使某些部位形成曲折，在这曲折的部分会生成粉末。

而且，为了把波纹管连接到排气管上，需要其他的装置，因热的流出量比较高，所以很难维持适当的温度(150～190℃)。

发明内容

本发明是为了解决以上的问题而言就出来的，其目的是要提供在维持适当的高温下，能够防止排气管中粉末沉积的现象的加热管。

为达到上述的目的，本发明提供有关于用于排出线的加热管，其特征包括：两端上有形成凸缘部的金属材料的波纹管，上述波纹管的外周面有以螺旋形状卷上的热线部，上述热线部的外侧有耐热绝缘材料，上述耐热绝缘层的外侧有保温材料，还包括压入在上述波纹管的两端的保温材料外侧的环状压入帽。

在这里，上述热线部的最适当的结构为；内部形成收容空间，收容空间的中间部位有隔壁形成的带状箱子，由上述隔壁隔开的一侧空间部有(+)极热线，另一侧为(-)极热线。

还有，上述热线部的特征应该为从气体进入的一端到气体排出的一端，卷在管上的热线部之间的间距越来越小。

而且，上述的耐热绝缘材料应该是由磁带形态的石棉卷在上面形成的。

还有，上述保温材料应该包括第一保温层和第二保温层；第一保温层是由石棉材料包裹耐热绝缘材料的表面形成的，第二保温层是利用其一面的附着剂附着在第一保温层的外面。

为了达到此目的，根据本发明，排出线包含连接半导体工程的工程室和清洁器的多个加热管，还有介入在上述加热管的曲折连接部位的弯管零件。对于此排出线，其构造特征为；上述的加热管两端上有由形成凸缘部的金属材料管，上述波纹管的外周面有以螺旋形状卷上的热线部，上述热线部的外侧有耐热绝缘材料，上述耐热绝缘层的外侧有保温材料，还包括压入在上述波纹管的两端的保温材料外侧的环状压入帽，上述弯管零件的外周面是由加热夹克包裹形成的。

根据此发明，在维持适当的高温下，能够防止排气管中粉末沉积的现象。

附图说明

图1是显示一般的半导体工程的排气管构造的概图。

图2是显示使用波纹管的半导体工程的排气管构造的概图。

图3是根据例1显示本发明中加热管构造的切开斜视图。

图4是根据例1显示本发明中加热管的构造。

图5是根据例1显示本发明中热线部的卷取构造。

图6是根据例2显示本发明中半导体工程的排气管构造。

标号说明：

10：加热管            11：波纹管

12：热线部            12a：箱子

12b：(+)极热线        12c：隔壁