[发明专利]化合物和含有该化合物的光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种由式(C1)表示的化合物和一种包含树脂、酸生成剂和由式(C1)表示的化合物的光致抗蚀剂组合物，在所述式(C1)中，R^c2表示具有至少一个硝基的C6-C10芳族烃基，并且R^c1表示由式(1)表示的基团，在所述式(1)中，R^c4表示氢原子等，R^c5表示C1-C30二价烃基，并且R^c3表示由式(3-1)，(3-2)或(3-3)表示的基团，在所述式(3-1)，(3-2)或(3-3)中，R^c6，R^c7，R^c8，R^c9，R^c10，R^c11，R^c12，R^c13和R^c14各自独立地表示C1-C30烃基。

主权项

1.一种由式(C1)表示的化合物：其中R^c2表示具有至少一个硝基的C6-C10芳族烃基，并且所述芳族烃基可以具有除硝基以外的一个或多个取代基，并且R^c1表示由式(1)表示的基团：其中R^c4表示氢原子，或表示直链、支链或环状C1-C6脂族烃基，R^c5表示可以具有选自由卤素原子，羟基，巯基(-SH)，氨基和氨基甲酰基(-CONH₂)组成的组中的一个或多个取代基的C1-C30二价烃基，并且所述二价烃基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-，-CO-，-S-或-NR^c15-代替，其中R^c15表示氢原子或表示直链或支链C1-C4烷基，并且所述二价烃基中的一个或多个-CH＝可以被-N＝代替，并且R^c4和R^c5可以彼此结合以与R^c4和R^c5所结合的氮原子一起形成环，并且R^c3表示由式(3-1)，(3-2)或(3-3)表示的基团：其中R^c6，R^c7，R^c8，R^c9，R^c10，R^c11，R^c12，R^c13和R^c14各自独立地表示可以具有一个或多个羟基的C1-C30烃基，并且所述C1-C30烃基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-，-CO-，-S-或-NR^c16-代替，其中R^c16表示氢原子或表示直链或支链C1-C4烷基，并且R^c6和R^c7可以彼此结合以与R^c6和R^c7所结合的碳原子一起形成环，并且R^c9和R^c10可以彼此结合以与R^c9所结合的碳原子和R^c10所结合的氧原子一起形成环。