[发明专利]盐及包含该盐的光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201010234021.1 | 申请日： | 2010-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN101955454A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 市川幸司;杉原昌子;山下裕子 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;C07C57/04;C07C69/54;C07C63/64;C07D333/76;C07D333/46;C07C25/18;C08F220/18;C08F120/06;C08F122/16;C08F212/14;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 涂勇 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
一种如式(I-Pa)所示的盐： |
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| 搜索关键词： | 包含 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种如式(I-Pa)所示的盐：![]()
其中XPa代表单键或C1-C4亚烷基，RPa代表单键、C4-C36二价脂环烃基或C6-C36二价芳香烃基，其中所述二价脂环烃基中的一个以上的亚甲基可用-O-或-CO-替代，YPa代表可聚合的基团，以及ZPa+代表有机阳离子。
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