[发明专利]半导体器件、摄像机模块及半导体器件的制造方法有效

专利信息
申请号: 201010213275.5 申请日: 2010-06-22
公开(公告)号: CN101930986A 公开(公告)日: 2010-12-29
发明(设计)人: 松尾美惠;萩原健一郎;小松公 申请(专利权)人: 株式会社东芝
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L23/485;H01L21/60
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 陈萍
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种半导体器件、摄像机模块及半导体器件的制造方法。半导体器件具备:半导体基板,在第1面上形成半导体元件;布线图形,形成于上述半导体基板的与上述第1面相反侧的第2面侧,至少在一部分包含接地线;贯通电极,从上述第1面到上述第2面贯通上述半导体基板,电连接上述半导体元件和上述布线图形;以及金属膜,形成于上述半导体基板的上述第2面与上述布线图形所延伸存在的面之间,与上述接地线电连接。
搜索关键词: 半导体器件 摄像机 模块 制造 方法
【主权项】:
一种半导体器件,具备:半导体基板,在第1面上具备半导体元件;布线图形,位于上述半导体基板的与上述第1面相反侧的第2面侧,至少一部分包括接地线;贯通电极,从上述第1面到上述第2面贯通上述半导体基板,将上述半导体元件和上述布线图形电连接;以及金属膜,位于上述半导体基板的上述第2面与上述布线图形所延伸存在的面之间,与上述接地线电连接。
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