[发明专利]半导体器件、摄像机模块及半导体器件的制造方法有效
申请号: | 201010213275.5 | 申请日: | 2010-06-22 |
公开(公告)号: | CN101930986A | 公开(公告)日: | 2010-12-29 |
发明(设计)人: | 松尾美惠;萩原健一郎;小松公 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L23/485;H01L21/60 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈萍 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种半导体器件、摄像机模块及半导体器件的制造方法。半导体器件具备:半导体基板,在第1面上形成半导体元件;布线图形,形成于上述半导体基板的与上述第1面相反侧的第2面侧,至少在一部分包含接地线;贯通电极,从上述第1面到上述第2面贯通上述半导体基板,电连接上述半导体元件和上述布线图形;以及金属膜,形成于上述半导体基板的上述第2面与上述布线图形所延伸存在的面之间,与上述接地线电连接。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 摄像机 模块 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,具备:半导体基板,在第1面上具备半导体元件;布线图形,位于上述半导体基板的与上述第1面相反侧的第2面侧,至少一部分包括接地线;贯通电极,从上述第1面到上述第2面贯通上述半导体基板,将上述半导体元件和上述布线图形电连接;以及金属膜,位于上述半导体基板的上述第2面与上述布线图形所延伸存在的面之间,与上述接地线电连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的