[发明专利]一种金属导热基板及其制作方法有效
申请号: | 201010206963.9 | 申请日: | 2010-06-12 |
公开(公告)号: | CN101894762A | 公开(公告)日: | 2010-11-24 |
发明(设计)人: | 柴广跃;刘文;王少华;黄长统;雷云飞;刘沛;徐光辉 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/498;H01L23/34;H05K1/05 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人: | 刘文求 |
地址: | 518054 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及电子封装技术领域,公开了一种金属导热基板及其制作方法,由于采用在金属基板上印刷绝缘介质浆料层,采用激光烧蚀方法将其熔融,形成绝缘介质层,然后在绝缘介质层上印刷金属电路浆料层,采用激光烧蚀方法将其熔融,形成金属电路层,提供了良好的绝缘散热通道。本发明中采用激光熔融方法可以获得很高的图形精度,有利于产品的微型化和精准化,制作过程工艺简单,无污染,节省了材料,降低了成本,并且具有很好的散热效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 导热 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种金属导热基板的制作方法,其特征在于,包括步骤:A、根据需要的电路结构,采用印刷方法在金属基板表面印制陶瓷玻璃混合物绝缘介质浆料层;B、采用激光烧蚀方法熔融所述绝缘介质浆料层,使其与金属基板紧密结合,形成陶瓷玻璃混合物绝缘介质层;C、在所述绝缘介质浆料层上印刷金属电路浆料层;D、采用激光烧蚀方法,对绝缘介质层上的金属电路浆料层进行激光熔融,使其与所述陶瓷玻璃混合物绝缘介质层紧密结合,形成金属电路层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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