[发明专利]MEMS加速度传感器

摘要

本发明涉及微机电领域，具体指一种能检测沿着三个正交轴加速度的MEMS加速度传感器，其包括衬底、质量块，沿第一方向排布并垂直于质量块的侧面的法向的若干第一动电极、平行于第一动电极的若干第一定电极，第一动电极与第一定电极之间具有重叠面积，第一动电极相较第一定电极更远离质量块的上表面；垂直于第一方向的第二方向上，具有垂直于质量块的侧面的法向的若干第二动电极，平行于第二动电极的若干第二定电极，第二动电极与第二定电极之间具有重叠面积，第二动电极相较第二定电极更靠近质量块的上表面。将实现三轴方向的加速度检测，采用固定电极单元和运动电极单元之间的交叠面积变化来实现Z轴的传感性能，减少了结构的整体尺寸。

主权项

一种MEMS加速度传感器，其包括衬底、位于衬底上可运动的质量块，该质量块设有相互平行的上下表面以及连接上下表面的侧面，其特征在于：该MEMS加速度传感器还包括：沿第一方向排布并垂直于质量块的侧面的法向的若干第一动电极、平行于第一动电极且固定连接至衬底的若干第一定电极，第一动电极通过第一弹簧结构连接至衬底，第一动电极与第一定电极之间具有重叠面积，第一动电极具有平行于质量块上表面的第一动电极顶面以及第一动电极底面，第一定电极具有平行于质量块上表面的第一定电极顶面以及第一定电极底面，且，第一动电极顶面相较第一定电极顶面更远离质量块的上表面；且垂直于第一方向的第二方向上，具有垂直于质量块的侧面的法向的若干第二动电极，平行于第二动电极且固定连接至衬底的若干第二定电极，第二动电极通过第二弹簧结构连接至衬底，第二动电极与第二定电极之间具有重叠面积，第二动电极具有平行于质量块上表面的第二动电极顶面以及第二动电极底面，第二定电极具有平行于质量块上表面的第二定电极顶面以及第二定电极底面，且，第二动电极顶面相较第二定电极顶面更靠近质量块的上表面。