[发明专利]MEMS加速度传感器

权利要求书

1.一种MEMS加速度传感器，其包括衬底、位于衬底上可运动的质量块，该质量块设有相互平行的上下表面以及连接上下表面的侧面，其特征在于：该MEMS加速度传感器还包括：

沿第一方向排布并垂直于质量块的侧面的法向的若干第一动电极、平行于第一动电极且固定连接至衬底的若干第一定电极，第一动电极通过第一弹簧结构连接至衬底，第一动电极与第一定电极之间具有重叠面积，第一动电极具有平行于质量块上表面的第一动电极顶面以及第一动电极底面，第一定电极具有平行于质量块上表面的第一定电极顶面以及第一定电极底面，且，第一动电极顶面相较第一定电极顶面更远离质量块的上表面；

且垂直于第一方向的第二方向上，具有垂直于质量块的侧面的法向的若干第二动电极，平行于第二动电极且固定连接至衬底的若干第二定电极，第二动电极通过第二弹簧结构连接至衬底，第二动电极与第二定电极之间具有重叠面积，第二动电极具有平行于质量块上表面的第二动电极顶面以及第二动电极底面，第二定电极具有平行于质量块上表面的第二定电极顶面以及第二定电极底面，且，第二动电极顶面相较第二定电极顶面更靠近质量块的上表面。

2.根据权利要求1所述的MEMS加速度传感器，其特征在于：第一动电极沿第一方向设有与第一弹簧结构连接的第一动电极轴，所述第一弹簧结构还连接第一固定动电极至衬底；所述第一定电极顺第一方向还设有一对第一定电极轴，第一定电极轴连接第一固定定电极至衬底；所述第一动电极轴夹设在每对第一定电极轴之间，第一固定动电极夹设在每对第一固定定电极之间；

第二动电极沿第二方向设有与第二弹簧结构连接的第二动电极轴，所述第二弹簧结构还连接第二固定动电极至衬底；所述第二定电极顺第二方向还设有一对第二定电极轴，第二定电极轴连接第二固定定电极至衬底；所述第二动电极轴夹设在每对第二定电极轴之间，第二固定动电极夹设在每对第二固定定电极之间。

3.根据权利要求2所述的MEMS加速度传感器，其特征在于：所述每对第一定电极轴与第一固定定电极及第一固定动电极形成三角区域；每对第二定电极轴与第二固定定电极及第二固定动电极形成三角区域。

4.根据权利要求1或2所述的MEMS加速度传感器，其特征在于：所述相邻的第一定电极轴与第二定电极轴平行设置，且具有一定间距。

5.根据权利要求4所述的MEMS加速度传感器，其特征在于：所述第一定电极顶面与第二动电极顶面具有相同的水平高度。