[发明专利]沉积蒸发源无效
| 申请号： | 201010149792.0 | 申请日： | 2010-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN102214730A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 雷智;邹志杰 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0296;H01L31/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧霁晨;李家麟 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种沉积蒸发源，其包括加热装置、放置于该加热装置上方的加热板和放置于所述加热板上的蒸发材料，其中所述加热板上均匀地设有贯穿所述加热板的通道。根据本发明的沉积蒸发源能够有效地解决由在蒸发过程中蒸发物质所处的工作气氛不一致而导致沉积薄膜的光电特性欠佳的问题。根据本发明的沉积蒸发源能够使得沉积薄膜的结构、光电特性一致，从而获得高品质的沉积薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 蒸发 | ||
【主权项】：
一种沉积蒸发源，包括：加热装置；加热板，放置于所述加热装置上方；和蒸发材料，放置于所述加热板上，其特征在于，所述加热板上均匀地设有贯穿所述加热板的通道。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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