[发明专利]具抗氧化纳米薄膜的散热单元及抗氧化纳米薄膜沉积方法有效
| 申请号： | 201010142112.2 | 申请日： | 2010-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102208377A | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 陈盈同 | 申请（专利权）人： | 陈盈同 |
| 主分类号： | H01L23/373 | 分类号： | H01L23/373;H05K7/20;C23C18/16 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具抗氧化纳米薄膜的散热单元，包含：一金属本体，具有一受热部及一散热部，该受热部及散热部外部披覆有至少一纳米金属化合物薄膜；所述纳米金属化合物薄膜是透过先于前述散热单元外部披覆至少一纳米氧化物涂层，再于高温环境下通入一还原气体对该散热单元及表面纳米氧化物涂层进行还原作业及热处理，于还原作业及热处理后，在前述散热单元表面形成一纳米金属化合物薄膜；通过于散热单元表面披覆纳米金属化合物薄膜可降低该散热单元表面氧化物的生成，进而避免氧化物造成散热单元的热阻情况的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 纳米 薄膜 散热 单元 沉积 方法 | ||
【主权项】：
一种具抗氧化纳米薄膜的散热单元，其特征在于包含：一金属本体，具有一受热部及一散热部，该受热部及散热部外部披覆有至少一纳米金属化合物薄膜，所述纳米金属化合物薄膜是由一还原气体及一纳米氧化物涂层与前述金属本体反应所形成。
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