[发明专利]真空排气装置、真空处理装置以及真空处理方法有效
| 申请号： | 200980138585.0 | 申请日： | 2009-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102171455A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 小室拓;增田行男;降矢新治;斋藤一也;大园修司;浅利伸 | 申请（专利权）人： | 爱发科低温泵株式会社;株式会社爱发科 |
| 主分类号： | F04B37/16 | 分类号： | F04B37/16;F04B37/08;F04B37/18 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人： | 韩登营;栗涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，提供一种能够抑制臭氧在低温泵中的存留的真空排气装置、真空处理装置以及真空排气方法。为达到上述目的，本发明的一个实施方式的真空排气装置(1)包括：真空处理用的处理室(11)泵单元，该泵单元具有冷捕集器(161)与排气通路(13A)，所述冷捕集器(161)能够捕集排出气体，所述排气通路(13A)用于将所述排出气体从所述处理室(11)导向所述冷捕集器(161)；加热单元(20)，其使从所述处理室(11)流向所述冷捕集器(161)的所述排出气体中含有的臭氧在所述排气通路(13A)中产生热分解。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 排气装置 处理 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种真空排气装置，用于对真空处理用的处理室进行排气，其特征在于，包括：泵单元，该泵单元具有冷捕集器与排气通路，所述冷捕集器能够捕集排出气体，所述排气通路用于将所述排出气体从所述处理室导向所述冷捕集器；加热单元，其使从所述处理室流向所述冷捕集器的所述排出气体中含有的臭氧在所述排气通路中产生热分解。
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