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[发明专利]真空排气系统-CN202180061623.8在审
发明人：野中学 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2021-10-01 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：提供一种能够实现泵、阀的小型化及使配管径变细，并且能够从高真空到大流量域进行发挥泵的排气特性的高效率的排气的真空排气系统。在真空腔室(5)内已使用的工艺气体经过调整阀(7)而到达分支配管(29)。分支配管(29)的图中由A表示的一侧的流路与第2泵的吸气口连接。另一方面，在分支配管(29)的图中由B表示的一侧的流路配设有旁通用阀(23)。而且，在第2泵的排气口的下游和旁通用阀(23)的下游，经由分支配管(27)连接着第1泵。在低中真空区域(大流量排气时)，将旁通用阀(23)打开。此时，用经过第2泵的流路A和流路B这两者将气体排出。然后，在进行比其低的中高真空条件的排气的情况下，将旁通用阀(23)关闭，用流路A进行排气。由此，能够使流路B的配管变细。
真空排气系统

[发明专利]真空排气系统的清洗装置-CN202180045029.X在审
发明人：桦泽刚志 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：提供一种能够防止在真空泵的下游处堆积物再附着的真空排气系统的清洗装置。具备：能够冷却含有升华成分的气体而令堆积物产生的冷却阱（13）；配设在冷却阱（13）的上游的至少一个的第一真空泵（11）；连接第一真空泵（11）和冷却阱（13）的至少一个的第一配管（21）；配设在冷却阱（13）的下游的至少一个的第二真空泵（16）；连接第二真空泵（16）和冷却阱（13）的至少一个的第二配管（22），将第一真空泵（11）和第一配管（21）的至少一部分加热到升华成分的升华温度以上，并且将冷却阱（13）冷却到升华成分的升华温度以下。
真空排气系统清洗装置

[发明专利]低温泵-CN201880008075.0有效
发明人：高桥走 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：本发明的低温泵(10)具备：制冷机(16)，其具备高温冷却台及低温冷却台；放射屏蔽件(30)，其与高温冷却台热连接且从低温泵进气口沿轴向延伸为筒状；及低温低温板部，其与低温冷却台热连接且被放射屏蔽件(30)包围，该低温低温板部具备多个低温板(60)及沿轴向排列成柱状的多个导热体(62)，并且多个低温板(60)及多个导热体(62)沿轴向层叠。
低温泵

[发明专利]排气系统-CN201680040293.3有效
发明人：桦泽刚志;野中学 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2016-07-01 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：提供一种排气系统，前述排气系统在不导致排气系统整体的成本增加的情况下，能够实现真空泵的气体凝结或凝固和早期过热的防止，适合放宽能够连续排气的气体流量等、排气系统整体的能够运转的条件。排气系统（S1）以如下结构为前提：至少将第1及第2真空泵（P1、P2）作为两个泵串联连接，穿过这些真空泵（P1、P2）和其连接部（C1），将包括凝结性气体的气体排出。并且，该排气系统（S1）在第1真空泵（P1）的附近设置第2真空泵（P2），由此设定成，连接部（C1）的内部的环境为，被包括于比在其内部流动的前述凝结性气体的蒸气压曲线靠下的气相区域的环境。
排气系统

[发明专利]低温泵-CN201880008074.6有效
发明人：高桥走 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：本发明的低温泵(10)具备：制冷机(16)，其具备高温冷却台及低温冷却台；放射屏蔽件(30)，其热连接于高温冷却台，且其从低温泵进气口沿轴向延伸为筒状；低温低温板部，其热连接于低温冷却台且被放射屏蔽件(30)包围，该低温低温板部具备沿轴向排列的多个低温板(60)，所述多个低温板(60)包括最靠近低温泵进气口而配置的顶部低温板(60a)；及入口低温板(32)，其热连接于高温冷却台，入口低温板(32)配置于低温泵进气口并且形成顶部低温板容纳分区(74)。
低温泵

[发明专利]真空泵-CN201610131171.7有效
发明人：盐川笃志 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2016-03-08 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：本发明提供一种真空泵，其能够抑制异物侵入至转子间等的间隙，并且能够得到低的极限压力。真空泵具有沿着第一轴线方向延伸地形成的两根旋转轴、转子壳体、转子和遮蔽部。在转子壳体上形成有沿着两根旋转轴设置的转子室、与转子室连通的吸入口和与转子室连通的排出口。转子安装于两根旋转轴，并配置在转子室中。遮蔽部以防止从吸气口被吸入至转子室的气体直接趋向转子间的间隙的方式构成，并设在吸气口和转子室内部之间。
真空泵

[发明专利]控制器及真空泵装置-CN201880010098.5在审
发明人：馆野泰 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：本发明提供振动少且能够实现小型化、并且能够廉价地将内置于控制器的控制回路的热高效率地除去的控制器及真空泵装置。在具备控制真空泵装置（10）的泵主体（11）的动作的控制回路的控制器（12）中，具备控制器壳体（15）和散热器（16），前述控制器壳体（15）收纳有前述控制回路，前述散热器（16）与控制器壳体（15）一体地形成，并且具有从控制器壳体（15）的外周面向外侧放射状地形成的多张散热片（17）。
控制器壳体控制器真空泵装置控制回路散热器一体地形成收纳泵主体放射状高效率散热片外周

[发明专利]真空泵-CN201480025291.8在审
发明人：大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2014-03-28 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：本发明提供一种具有控制单元的真空泵，能够可靠地防止在冷却管的表面或其周边结露，能够有效地减少电子设备因为由结露产生的水滴而发生故障等问题。控制单元（真空泵控制单元1）具有第1获取机构（101）、第2获取机构（102）和控制机构（103），前述第1获取机构（101）获取箱体内部（2A）的含有水蒸气量（X），前述第2获取机构（102）获取冷却管（4）的表面温度下的饱和水蒸气量（Y），前述控制机构（103）根据前述饱和水蒸气量（Y）设定容许水蒸气量（YS），基于前述含有水蒸气量（X）和前述容许水蒸气量（YS）的比较结果操作冷却管（4）的流量可变阀（4A），调节冷却管（4）的表面温度，由此进行控制，使得在前述冷却管（4）附近下述条件式得到满足。条件式：含有水蒸气量（X）<容许水蒸气量（YS）。
真空泵

[发明专利]快放阀及带有快放阀的真空泵装置-CN201480030368.0在审
发明人：赵镐英 -专利权人：维泰克株式会社
申请日： 2014-04-14 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于真空系统的快放阀及具有快放阀的真空泵装置。所述排泄阀包括通过空气压力而作用的滑阀构件，通过所述滑阀构件的滑行动作在将真空流路完全切断的同时形成解除流路。因此，在本发明的所述阀门及装置中，用于解除真空的压缩空气可以直接配置在吸附垫上，这与也向真空泵或其周边供给压缩空气的现有真空解除方式相比，能够有效提高能效及解除速度。
快放阀带有真空泵装置

[发明专利]浸渗装置及浸渗方法-CN201410577716.8在审
发明人：村田利雄 -专利权人：村田利雄
申请日： 2014-10-24 - 公布日： 2015-05-06 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：本发明包括：液体储存箱(2)，所述液体储存箱(2)用于存储浸渗液(20)；中空管(3)，所述中空管(3)设置于所述液体储存箱(2)；真空泵(5)，所述真空泵(5)在中空管(3)的一端制造真空(31)；传送装置(6)，所述传送装置(6)在进入所述中空管(3)内的所述浸渗液(20)中传送多孔物质(40)。所述真空(31)的真空程度保持在一个设定范围内。本发明能够利用简单的结构对多孔物质进行连续地真空浸渗。
装置方法

[发明专利]真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法-CN201280032872.5有效
发明人：长坂政彦;中岛章五;野泽孝行;杉野修;三岛育人 -专利权人：新东工业株式会社
申请日： 2012-05-14 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：发明提供无需使用昂贵的质量流量控制器、不会大量消耗导入气体就能够控制真空容器内的压力的真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法。真空装置(1)具备真空容器(2)、测定真空容器(2)的内部的压力的真空计(3)、对真空容器(2)进行真空排气的第一真空泵(4)、传导阀(5)、经由传导阀(5)与真空容器(2)连接的第二真空泵(6)、朝真空容器(2)供给气体的气体供给单元(7)、以及基于真空计(3)的输出将真空容器(2)的内部的压力控制成控制压力的控制装置(8)。第二真空泵(6)是以内部的压力高于真空容器(2)的内部的压力(控制压力)的方式选定的干式真空泵，且构成为由气体供给单元(7)供给的气体在泵内部从排气口(6b)朝吸气口(6a)流通。
真空装置以及容器压力控制方法

[发明专利]真空排气装置和真空处理装置以及真空排气方法-CN201180057050.8有效
发明人：桥本建治;山本昌弘;井上俊哉 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2011-12-22 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：本发明在第一真空泵（53）产生问题的情况下，通过由控制构件（66）对分隔阀（58）、开闭阀（59）、第一入口开闭阀（61）以及第二入口开闭阀（62）进行开闭控制，由第二真空泵（55a）维持第一真空处理室（51）的真空状态，且由第二真空泵（55b）维持第二真空处理室（52）的真空状态。
真空排气装置处理装置以及排气方法

[发明专利]真空排气装置、真空排气方法及基板处理装置-CN201080059663.0有效
发明人：井上俊哉;桥本建治;山本昌弘 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2010-11-29 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：在进行维持现有的真空状态的运转（待机运转）时，通过一个真空泵（12a）进行其他真空泵（12）的最终段的容积室的排气，维持其他真空泵（12）的最终段的真空，使待机运转时的其他真空泵（12）的动力仅为机械损耗，不用辅助泵等地大幅抑制真空泵（12）的耗电量。
真空排气装置排气方法处理装置

[发明专利]减压系统及真空处理装置-CN201080022279.3有效
发明人：泷泽功一 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2010-06-24 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：一种减压系统，包括多个包括冷却部的减压装置及压缩装置(42)。压缩装置包括带有AC电机(43)的压缩部并且以与AC电机的转速对应的流速向各冷却单元供给压缩冷却剂。当压缩冷却剂绝热膨胀时，各冷却单元补充气体。减压系统还包括检测各冷却单元的温度的温度检测器(50)、能改变供给至AC电机的AC电源频率的换流装置(52)及控制换流装置之输出频率的频率控制器(51)。当多个减压装置的至少一个的冷却单元的温度大于或等于第一阈值时，所述频率控制器(51)相对升高换流装置的输出频率，并且当多个减压装置之全部的冷却单元的温度小于第一阈值时，频率控制器(51)相对降低换流装置的输出频率。
减压系统真空处理装置

[发明专利]干式真空泵-CN201080004682.3有效
发明人：大坪荣一郎;丸山祥史;井上英晃;喜多亮介;水岛浩一 -专利权人：三菱重工业株式会社;株式会社爱发科
申请日： 2010-05-06 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： F04B37/16 文献下载
摘要：在排气室(13)与润滑室(12)之间具有：对区划排气室(13)的工作缸(7)和第一轴(5)之间进行密封的第二密封件(28)、对区划润滑室(12)的侧罩(9)和第一轴(5)之间进行密封的第一密封件(27)。另外，在第二密封件(28)和第一密封件(27)之间设有供给密封气体的气体导入空间(29)。第二密封件(28)及第一密封件(27)分别具有基部和从基部向第一轴(5)侧延伸的一对圆环状的唇(31、32、33、34)。一对唇(31、32或33、34)以相互的间隔随着从基部朝向第一轴(5)侧而逐渐扩大的方式延伸，并且各自前端部能够与第一轴(5)弹性接触。
真空泵

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