[发明专利]双极脉冲电源以及由多个双极脉冲电源构成的电源装置有效
| 申请号： | 200980116930.0 | 申请日： | 2009-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN102027667A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 堀下芳邦;松原忍;小野敦 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | H02M7/48 | 分类号： | H02M7/48;C23C14/34;H02M7/5387 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种双极脉冲电源，其可有效限制与飞溅物及微粒的产生直接相关的产生电弧放电时的电流上升，同时可防止颠倒极性时产生过压。所述电源设置有由连接在直流电力供给源1的正负直流输出间的开关元件SW1～SW4构成的电桥电路22，通过控制开关元件的动作以规定的频率向与等离子体接触的一对电极输出双极脉冲状电力。并且设有切换前述输出的输出特性切换电路，以便使最初提供给前述电极的输出具有恒压特性，其后提供给前述电极的输出具有恒流特性。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 电源 以及 多个双极 构成 装置 | ||
【主权项】：
一种双极脉冲电源，具有：电桥电路，其由连接在直流电力供给源的正负直流输出间的开关元件构成；通过控制开关元件的动作，以规定的频率向与等离子体接触的一对电极输出双极脉冲状电力，其特征在于：设置了切换前述输出的输出特性切换电路，其可在向前述电极输出时，使最初提供给前述电极的输出具有恒压特性，其后提供给前述电极的输出具有恒流特性。
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