[发明专利]双极脉冲电源以及由多个双极脉冲电源构成的电源装置

权利要求书

1.一种双极脉冲电源，具有：电桥电路，其由连接在直流电力供给源的正负直流输出间的开关元件构成；通过控制开关元件的动作，以规定的频率向与等离子体接触的一对电极输出双极脉冲状电力，其特征在于：

设置了切换前述输出的输出特性切换电路，其可在向前述电极输出时，使最初提供给前述电极的输出具有恒压特性，其后提供给前述电极的输出具有恒流特性。

2.根据权利要求1所述的双极脉冲电源，其特征在于：前述输出特性切换电路包括：电感器，其至少设置在从前述直流电力供给源到电桥电路的正负直流输出中的一方上；以及与前述电感器并联的另一个开关元件；最初切换前述开关元件时，通过使所述另一个开关元件动作规定的时间来短路电感器。

3.根据权利要求1所述的双极脉冲电源，其特征在于：前述输出特性切换电路包括：至少设置在从前述直流电力供给源到电桥电路的正负直流输出中的一方上的电感器，以及与前述电感器串联、产生过压时短路前述电感器的二极管。

4.根据权利要求2或3所述的双极脉冲电源，其特征在于：在前述其他开关元件或二极管上串联电阻。

5.根据权利要求1～4任一项所述的双极脉冲电源，其特征在于：前述电极是设置在实施溅射法的处理室内的一对靶。

6.一种电源装置，是并联多台权利要求1～权利要求5任一项所述的双极脉冲电源形成的电源装置，其特征在于：通过使各双极脉冲电源同步，向设置在同一处理室内的至少一对电极输出双极脉冲状电力。