[发明专利]蜂窝结构体缺陷检查装置有效
| 申请号： | 200910128666.4 | 申请日： | 2009-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101539532A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 赤尾隆嘉;真藤博之;井上纯;及川圭太 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及蜂窝结构体缺陷检查装置。课题是提供能够以高灵敏度检测蜂窝结构体的小的缺陷或产生在外周附近的缺陷的机构。通过提供具备整流板(41)和气流形成机构(空气源(92)以及集管(59))的蜂窝结构体缺陷检查装置来完成上述课题。 | ||
| 搜索关键词： | 蜂窝 结构 缺陷 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蜂窝结构体缺陷检查装置，其特征在于，具备：微粒子导入机构，其对含有微粒子的气体加压并从蜂窝结构体的一面侧向隔室内进行微粒子的导入；含有微粒子气体流量调节机构，其对该被导入的气体的流量进行调节；光照射机构，其以平行地通过蜂窝结构体的另一面附近的方式照射指向性强的光；整流板，其以覆盖该蜂窝结构体的另一面侧的方式配置在从上述光照射机构射出的光和蜂窝结构体的另一面之间；以及气流形成机构，其在从蜂窝结构体的一面侧向另一面侧的方向上，使气体沿着蜂窝结构体的外周流动。
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