[发明专利]蜂窝结构体缺陷检查装置

权利要求书

1.一种蜂窝结构体缺陷检查装置，其特征在于，具备：

微粒子导入机构，其对含有微粒子的气体加压并从蜂窝结构体的一面侧向 隔室内进行微粒子的导入；所述隔室由蜂窝结构体的隔壁区划形成；

含有微粒子气体流量调节机构，其对该被导入的气体的流量进行调节；

光照射机构，其以平行地通过蜂窝结构体的另一面附近的方式照射指向性 强的光；

整流板，其以覆盖该蜂窝结构体的另一面侧的方式配置在从上述光照射机 构射出的光和蜂窝结构体的另一面之间；以及

气流形成机构，其在从蜂窝结构体的一面侧向另一面侧的方向上，使气体 沿着蜂窝结构体的外周流动。

2.根据权利要求1所述的蜂窝结构体缺陷检查装置，其特征在于，

上述气流形成机构具有吹出气体的多个喷嘴。

3.根据权利要求1或2所述的蜂窝结构体缺陷检查装置，其特征在于，具 备：

对上述气流形成机构流出的气体进行加压的气流形成气体加压机构；以 及，

对上述气流形成机构流出的气体的流量进行调节的气流形成气体流量调 节机构。

4.根据权利要求1所述的蜂窝结构体缺陷检查装置，其特征在于，

上述整流板和上述蜂窝结构体的另一面的距离为0.01mm以上30mm以 下。

5.根据权利要求1所述的蜂窝结构体缺陷检查装置，其特征在于，

上述整流板其开口率为10％以上80％以下。

6.根据权利要求1所述的蜂窝结构体缺陷检查装置，其特征在于，

具备观察机构，该观察机构位于蜂窝结构体的另一面侧，且该观察机构从 相对上述蜂窝结构体的另一面的法线方向具有角度的位置来观察通过上述微 粒子而散射的上述光。

7.根据权利要求6所述的蜂窝结构体缺陷检查装置，其特征在于， 上述观察机构是通过摄像机对上述蜂窝结构体的另一面进行摄像的机构。