[发明专利]蜂窝结构体缺陷检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及为了检查如果是正常的蜂窝结构体则不存在的、比蜂窝结构体 的细孔径大的孔(缺陷)的有无所使用的装置。

背景技术

考虑到对环境的影响，从排气中去除从汽车用发动机等排出的排气中所含 的粒子状物质的必要性提高。尤其是关于从柴油机排出的粒子状物质(微粒物 质PM)的去除的规则在全世界有被强化的趋势。根据这种情形，用于捕集并 去除PM的柴油微粒过滤器(DPF)引起注目。

作为DPF的一个样式，可举出具有被封孔的蜂窝结构的过滤器(蜂窝过 滤器)。该蜂窝过滤器由具备划分形成成为流体的流道的多个隔室的多孔质的 隔壁，一方端部开口且另一方端部被封孔的规定隔室、和一方端部被封孔且另 一方端部开口的剩余的隔室交互配置而成的蜂窝结构体构成。根据该蜂窝结构 体，通过从规定的隔室开口的一方端部流入的流体(排气)透过隔壁，并作为 透过流体向剩余的隔室一侧流出，然后从剩余的隔室开口的另一方端部流出， 从而得到排气中的PM被捕集去除之类的作用效果。

如上述的蜂窝过滤器那样的排气透过多孔质隔壁的结构的蜂窝过滤器(壁 流式蜂窝过滤器)，由于采用大的过滤面积，所以可降低过滤速度(透过隔壁 流速)，压力损失小，而且PM的捕集效率比较良好。但它的前提是在构成蜂 窝过滤器的蜂窝结构体的多孔质的隔壁上作为缺陷不存在比其细孔经大的不 希望的孔，如果有缺陷，则PM从此穿过，效率等等作为DPF的PM捕集能 力其本身比以前下降。正因为如此，制造蜂窝结构体时的缺陷检查是非常重要 的工序。还有，作为相关的在先技术文献，可举出例如专利文献1。

专利文献1：专利第3904933号公报

专利文献2：特开2001-190916号公报

在专利文献1中公开了高灵敏度地检查不能从外部确认缺陷的形状的蜂 窝结构体的缺陷的机构。然而，在专利文献1所公开的发明中可知，缺陷减小 到蜂窝结构体的平均细孔经的10倍左右且不是比正常的细孔格外大的孔的场 合、或缺陷位于蜂窝结构体的外周附近的场合，存在灵敏度下降的可能性。

发明内容

本发明是鉴于这种情况而提出的技术方案，课题是提供一种能够以高灵敏 度检测蜂窝结构体的小的缺陷或产生于外周附近的缺陷的机构。为了解决该课 题，反复研究的结果直至想到了以下机构。

即、首先，根据本发明，提供一种蜂窝结构体缺陷检查装置，具备：对含 有微粒子的气体加压并从蜂窝结构体的一面(微粒子导入面)侧向隔室内进行 微粒子的导入的微粒子导入机构；对该被导入的气体的流量进行调节的含有微 粒子气体流量调节机构；以平行地通过蜂窝结构体的另一面附近的方式照射指 向性强的光的光照射机构；以覆盖该蜂窝结构体的另一面侧的方式配置在从上 述光照射机构射出的光和蜂窝结构体的另一面之间的整流板；以及，在从蜂窝 结构体的一面(微粒子导入面)侧向另一面(微粒子排出面)侧的方向，使气 体沿着蜂窝结构体的外周流动的气流形成机构。

作为本发明的蜂窝结构体缺陷检查装置的被检体的蜂窝结构体是具有一 面(微粒子导入面)和另一面(微粒子排出面)，具备划分形成作为连接这些 面的流体流道的多个隔室的多孔质隔壁，在一面(微粒子导入面)侧开口且在 另一面(微粒子排出面)侧被封孔的规定的隔室、和在一面(微粒子导入面) 被封孔且在另一面(微粒子排出面)侧开口的剩余的隔室交互配置而成的多孔 质体。只要是存在发生缺陷的可能性的结构体，形状、材质、细孔经、用途等 没有限制。

另外，被检体也可以是适用于DPF的具有切片构造的蜂窝结构体(例如 专利文献2所公开的蜂窝结构体)。这是多个蜂窝切片通过接合层被粘接的结 构体。整流板如接合层那样，即使隔室的排列图形规则性零乱，对含有微粒子 的气流存在紊乱的可能性的部分也有效地发挥作用。

在本发明的蜂窝结构体缺陷检查装置中，光照射机构例如可由发光机构和 透镜构成。

用光照射机构照射的光必需是通过微粒子而散射的波长的光。根据这种观 点，光最好是激光。可适当使用固体激光、气体激光、半导体激光、色素激光、 准分子激光、自由电子激光等。光的波长可采用例如650nm左右(红色激光)、 532nm左右(绿色激光)、400nm(紫色激光)等。并且，优选能够简便地检 测该散射的光。