[发明专利]含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置

摘要

一种含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置，由光束整形器、棱镜扩束器和衍射光栅组成。通过在光路中置入棱镜将矩形光束的长轴分为若干方向的子光束，通过高反镜将变向的子光束与原光束的短轴重叠，从而实现光束长宽比的变化，进而减小须扩束方向的光束长度，有效地减小了光栅长度；通过转动固定棱镜的转台实现激光的中心波长调谐机制，步进电机转台和PZT纳米转台分别对两扩束棱镜实现粗略转动调和精密转动，调整光束到光栅入射角来实现激光中心波长的粗调和精调。本发明可实现窄线宽激光输出，光束整形有效减小衍射光栅的尺寸，中心波长的转动调谐使结构紧凑、简单易调，本发明适用于多种类型的激光器，特别是准分子激光器。

主权项

1、一种含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置，其特征在于该装置由光束整形器(1)、棱镜扩束器(2)和衍射光栅(3)组成：所述的光束整形器(1)由一个具有矩形空隙通道、第一直角三棱镜(11)和第二直角三棱镜(12)组成，所述的第一直角三棱镜(11)和第二直角三棱镜(12)的一个直角面相对并平行地分布在所述的矩形空隙通道的两边，在所述的第一直角三棱镜(11)和第二直角三棱镜(12)的弦面的相对位置各设置一块第一高反射镜(13)，两块第二反射镜(14)与所述的两块第一高反射镜(13)相对人字形地设置在所述的矩形空隙通道的上边，使输入该光束整形器的光束，经所述的矩形空隙通道的子光束不发生偏折，经过所述的第一直角三棱镜(11)和第二直角三棱镜(12)的子光束分别向各自棱镜的弦面偏折，而且该偏折的子光束经第一高反镜(13)和第二高反镜(14)后导向未偏折子光束的上边并平行于该未偏折子光束而将所述的三路子光束合束输出；所述的棱镜扩束器(2)由多个直角棱镜依次排列组成，该棱镜扩束器(2)为上-上…上-下结构，即各直角棱镜的顶角向上、独有最后一个直角棱镜的顶角向下放置，第一直角棱镜设置在一个步进电机转台(4)上，所述的最后一个直角棱镜设置在一个PZT纳米转台(5)上；所述的衍射光栅(3)为中阶梯光栅。