[发明专利]含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置有效

专利信息
申请号: 200910052119.2 申请日: 2009-05-27
公开(公告)号: CN101581866A 公开(公告)日: 2009-11-18
发明(设计)人: 周军;张海波;赵宏明;楼祺洪;魏运荣;董景星 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G02F1/35 分类号: G02F1/35;G02B27/09;G02B5/18;G03F7/20
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 张泽纯
地址: 201800上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 光束 整形 波长 转动 调谐 压缩 装置
【权利要求书】:

1.一种含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置,其特征在于该装置由光束整形器(1)、棱镜扩束器(2)和衍射光栅(3)组成:

所述的光束整形器(1)由分布在一个具有矩形截面的矩形空隙通道两边的第一直角三棱镜(11)和第二直角三棱镜(12)组成,所述的第一直角三棱镜(11)和第二直角三棱镜(12)的一个直角面相对并平行地分布在所述的矩形空隙通道的两边,在所述的第一直角三棱镜(11)和第二直角三棱镜(12)的弦面的相对位置各设置一块第一高反射镜(13),两块第二高反射镜(14)与所述的两块第一高反射镜(13)相对且人字形地设置在所述的矩形空隙通道的上边,使输入该光束整形器(1)的光束,经所述的光束整形器(1)后分为三路子光束,即经所述的矩形空隙通道的子光束不发生偏折,称为未偏折子光束,经过所述的第一直角三棱镜(11)的子光束和第二直角三棱镜(12)的子光束分别向各自棱镜的弦面偏折,称为偏折子光束,而且该两束偏折子光束分别经第一高反射镜(13)和第二高反射镜(14)后导向未偏折子光束的上边并平行于该未偏折子光束而将所述的三路子光束合束输出;

所述的棱镜扩束器(2)由多个直角棱镜依次排列组成,该棱镜扩束器(2)为上-上…上-下结构,即各直角棱镜的顶角向上、独有最后一个直角棱镜的顶角向下放置,第一直角棱镜设置在一个步进电机转台(4)上,所述的最后一个直角棱镜设置在一个PZT内米转台(5)上;

所述的衍射光栅(3)为中阶梯光栅。

2.根据权利要求1所述的含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置,其特征在于所述的棱镜扩束器(2)是由三个或四个直角棱镜组成的。

3.根据权利要求1所述的含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置,其特征在于所述的步进电机转台(4)由步进电机驱动器和控制器组成。

4.根据权利要求1所述的含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置,其特征在于所述的PZT纳米转台(9)由压电陶瓷驱动器和控制器组成。

5.根据权利要求1所述的含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置,其特征在于所述的衍射光栅(3)的闪耀角为71°~82°。

6.根据权利要求1至5任一项所述的含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置,其特征在于所述的第一直角三棱镜(11)和第二直角三棱镜(12)的弦面镀增透膜。

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