[发明专利]镀通孔微蚀液无效

专利信息
申请号: 200910030626.6 申请日: 2009-04-17
公开(公告)号: CN101864570A 公开(公告)日: 2010-10-20
发明(设计)人: 杨雪林 申请(专利权)人: 江苏苏杭电子有限公司
主分类号: C23F1/16 分类号: C23F1/16
代理公司: 昆山四方专利事务所 32212 代理人: 盛建德
地址: 215341 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种镀通孔微蚀液,按浓度计:微蚀液中包含有如下成份:Na2S2O8:70~90g/L;H2SO4:27.6g/L;CuSO4:1~20g/L;所述微蚀液的溶剂为去离子水。本发明采用H2SO4-Na2S2O8体系微蚀液,使用时不产生分解,微蚀速率较大,可达到0.7μm~0.9μm/min,而且微蚀速率较稳定,控制较方便,有效解决了微蚀稳定性和微蚀速率间的矛盾,既易于微蚀控制,又提高生产效率。
搜索关键词: 镀通孔微蚀液
【主权项】:
一种镀通孔微蚀液,其特征是:按浓度计:微蚀液中包含有如下成份:Na2S2O8:70~90g/L;H2SO4:27.6g/L;CuSO4:1~20g/L;所述微蚀液的溶剂为去离子水。
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