[发明专利]确定位置和偏移的装置和方法

摘要

提供一种确定等离子处理系统位置和偏移的方法，该等离子处理系统至少包括卡盘和上部电极。该方法包括沿第一多个路径移动遍历组件以生成第一多个数据集，该遍历组件至少包括光源，该光源提供光束，沿第一多个路径的每个路径移动该遍历组件使得该光束遍历该卡盘并得到该第一多个数据集的一个或多个数据集。该方法还包括接收该第一多个数据集和分析该第一多个数据集以识别出至少三个间断组成的第一组，其中该至少三个间断组成的第一组与该光束碰到该卡盘边缘该卡盘边缘时产生的三个或多个反射光信号相关。该方法还包括使用与该至少三个间断组成的第一组相关的坐标数据确定该卡盘的中心。

主权项

一种确定等离子处理系统中位置和偏移的方法，所述等离子处理系统至少包括卡盘和上部电极，所述方法包括：沿第一多个路径移动遍历组件以生成第一多个数据集，所述遍历组件至少包括光源，所述光源提供光束，沿所述第一多个路径的每个路径移动所述遍历组件使得所述光束遍历所述卡盘并得到所述第一多个数据集的一个或多个数据集；接收所述第一多个数据集；分析所述第一多个数据集以识别出至少三个间断组成的第一组，其中所述至少三个间断组成的第一组与当所述光束碰到所述卡盘的边缘生成的三个或多个反射光信号相关；以及使用与所述至少三个间断组成的第一组关联的坐标数据确定所述卡盘的中心。