[实用新型]一种高温液态氯硅烷的输送装置有效
| 申请号： | 200820222837.0 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN201334538Y | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 戴自忠;易忠海 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C01B33/03;C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 方 强 |
| 地址： | 614800四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高温液态氯硅烷的输送装置，是对于多晶硅生产中的精馏、回收系统塔釜中的液态氯硅烷进行输送，包括氯硅烷输出塔一、氯硅烷输出塔二，其特征在于：在氯硅烷输出塔一和氯硅烷输出塔二之间依次设置有再沸器和冷凝器，再沸器位于氯硅烷输出塔一的出料口，冷凝器位于再沸器和氯硅烷输出塔二之间，氯硅烷输出塔一、再沸器、冷凝器和氯硅烷输出塔二之间均通过管道连接；本装置采用再沸器和冷凝器的配合代替了屏蔽泵，这样不仅完全解决了汽蚀现象，而且通过氯硅烷的性态变化使得输送也非常方便，同时所传送的流量可以准确控制，流速平稳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 液态 硅烷 输送 装置 | ||
【主权项】：
1、一种高温液态氯硅烷的输送装置，是对于多晶硅生产中的精馏、回收系统塔釜中的液态氯硅烷进行输送，包括氯硅烷输出塔一(1)、氯硅烷输出塔二(2)，其特征在于：在氯硅烷输出塔一(1)和氯硅烷输出塔二(2)之间依次设置有再沸器(3)和冷凝器(4)，再沸器(3)位于氯硅烷输出塔一(1)的出料口(7)，冷凝器(4)位于再沸器(3)和氯硅烷输出塔二(2)之间，氯硅烷输出塔一(1)、再沸器(3)、冷凝器(4)和氯硅烷输出塔二之间均通过管道连接。
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