[实用新型]一种高温液态氯硅烷的输送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产领域，特别是在多晶硅生产的精馏、回收系统中，一种高温液态氯硅烷的输送装置。

背景技术

在多晶硅的生产过程中，其中重要的精馏、回收系统中，在塔和塔、塔和罐之间的物料输送目前主要是采用没有泄露的屏蔽泵来完成(如图1所示)，但是因为塔釜温度较高或泵电机发热较大，泵进口处的物料通常会汽化，形成汽蚀现象。从而导致该屏蔽泵不能正常工作，严重时屏蔽泵会被损坏、引发事故，最终影响生产。

发明内容

本实用新型为解决上述问题提供了在多晶硅生产中精馏、回收系统中，一种高温液态氯硅烷的输送装置，可以有效地解决汽蚀现象，使用安全，寿命长。

本实用新型的技术方案如下：

一种高温液态氯硅烷的输送装置，是对于多晶硅生产中的精馏、回收系统塔釜中的液态氯硅烷进行输送，包括氯硅烷输出塔一、氯硅烷输出塔二，其特征在于：在氯硅烷输出塔一和氯硅烷输出塔二之间依次设置有再沸器和冷凝器，再沸器位于氯硅烷输出塔一的出料口，冷凝器位于再沸器和氯硅烷输出塔二之间，氯硅烷输出塔一、再沸器、冷凝器和氯硅烷输出塔二之间均通过管道连接。

所述再沸器的蒸汽进出口设置有蒸汽调节阀。

所述冷凝器的RO水进出口设置有RO水调节阀。

所述再沸器的物料进口与氯硅烷输出塔一的出料口连接，再沸器的物料出口通过管道于冷凝器的物料进口连接。

所述冷凝器的物料出口通过管道连接高位罐的进口。

所述高位罐的出口通过管道依次连接调节阀、流量计和氯硅烷输出塔二。

所述冷凝器高于再沸器，高位罐低于冷凝器。

所述调节阀和流量计均低于高位罐。

所述冷凝器高于氯硅烷输出塔二进料口2米。

本装置的工作原理为：

氯硅烷输出塔一的液态氯硅烷(压力：0.19～0.4MPa，温度：85～110℃)流进再沸器，通过蒸汽调节阀调节再沸器内的蒸汽，当再沸器内的蒸汽达到饱和(压力：0.5～1.0MPa温度：150～180℃)时，液态氯硅烷被再沸器内的饱和蒸汽加热成气态，气态氯硅烷沿着管道上升至高处的冷凝器，调节冷凝器的RO水调节阀调节RO水(是一种反渗透产品水，俗称脱盐水，水质要求：电阻率ρ≥0.5MΩ.cm；Cl离子≤10mg/L，PH值为7.5～9)的使用量，通过RO水将气态氯硅烷又冷凝成液态氯硅烷，液态氯硅烷流入低于冷凝器的高位罐，然后通过调节低于高位罐的调节阀和流量计，液态氯硅烷以确定的流量进入下一个塔或罐，从而完成了高温氯硅烷的输送，其中冷凝器的标高应该大于下一个塔或罐进料口2米左右。

本实用新型的有益效果如下：

本装置采用再沸器和冷凝器的配合代替了屏蔽泵，这样不仅完全解决了汽蚀现象，而且通过氯硅烷的性态变化使得输送也非常方便，同时所传送的流量可以准确控制，流速平稳。

附图说明

图1为本实用新型背景技术传统的工艺方案流程图

图2为本实用新型的工艺方案流程图

具体实施方式

如图2所示，一种高温液态氯硅烷的输送装置，是对于多晶硅生产中的精馏、回收系统塔釜中的液态氯硅烷进行输送，包括氯硅烷输出塔一1、氯硅烷输出塔二2，在氯硅烷输出塔一1和氯硅烷输出塔二2之间依次设置有再沸器3和冷凝器4，再沸器3位于氯硅烷输出塔一1的出料口7，冷凝器4位于再沸器3和氯硅烷输出塔二2之间，氯硅烷输出塔一1、再沸器3、冷凝器4和氯硅烷输出塔二2之间均通过管道连接。

所述再沸器3的蒸汽进出口设置有蒸汽调节阀5。

所述冷凝器4的RO水进出口设置有RO水调节阀6。

所述再沸器3的物料进口7与氯硅烷输出塔一1的出料口7连接，再沸器3的物料出口8通过管道于冷凝器4的物料进口9连接。

所述冷凝器4的物料出口10通过管道连接高位罐12的进口13。

所述高位罐12的出口14通过管道依次连接调节阀15、流量计16和氯硅烷输出塔二2。

所述冷凝器4高于再沸器3，高位罐12低于冷凝器4。

所述调节阀15和流量计16均低于高位罐12。

所述冷凝器4高于氯硅烷输出塔二2的进料口2米。

本装置的工作原理为：

氯硅烷输出塔一的液态氯硅烷(压力：0.19～0.4MPa，温度：85～110℃)流进再沸器，通过蒸汽调节阀调节再沸器内的蒸汽，当再沸器内的蒸汽达到饱和(压力：0.5～1.0MPa温度：150～180℃)时，液态氯硅烷被再沸器内的饱和蒸汽加热成气态，气态氯硅烷沿着管道上升至高处的冷凝器，调节冷凝器的RO水调节阀调节RO水(是一种反渗透产品水，俗称脱盐水，水质要求：电阻率ρ≥0.5MΩ.cm；Cl离子≤10mg/L，PH值为7.5～9)的使用量，通过RO水将气态氯硅烷又冷凝成液态氯硅烷，液态氯硅烷流入低于冷凝器的高位罐，然后通过调节低于高位罐的调节阀和流量计，液态氯硅烷以确定的流量进入下一个塔或罐，从而完成了高温氯硅烷的输送，其中冷凝器的标高应该大于下一个塔或罐进料口2米左右。