[实用新型]一种高温液态氯硅烷的输送装置

权利要求书

1、一种高温液态氯硅烷的输送装置，是对于多晶硅生产中的精馏、回收系统塔釜中的液态氯硅烷进行输送，包括氯硅烷输出塔一(1)、氯硅烷输出塔二(2)，其特征在于：在氯硅烷输出塔一(1)和氯硅烷输出塔二(2)之间依次设置有再沸器(3)和冷凝器(4)，再沸器(3)位于氯硅烷输出塔一(1)的出料口(7)，冷凝器(4)位于再沸器(3)和氯硅烷输出塔二(2)之间，氯硅烷输出塔一(1)、再沸器(3)、冷凝器(4)和氯硅烷输出塔二之间均通过管道连接。

2、根据权利要求1所述一种高温液态氯硅烷的输送装置，其特征在于：所述再沸器(3)的蒸汽进出口设置有蒸汽调节阀(5)。

3、根据权利要求1所述一种高温液态氯硅烷的输送装置，其特征在于：所述冷凝器(4)的RO水进出口设置有RO水调节阀(6)。

4、根据权利要求1所述一种高温液态氯硅烷的输送装置，其特征在于：所述再沸器(3)的物料进口(8)与氯硅烷输出塔一(1)的出料口(7)连接，再沸器(3)的物料出口(9)通过管道于冷凝器(4)的物料进口(10)连接。

5、根据权利要求1所述一种高温液态氯硅烷的输送装置，其特征在于：所述冷凝器(4)的物料出口(11)通过管道连接高位罐(12)的进口(13)。

6、根据权利要求1所述一种高温液态氯硅烷的输送装置，其特征在于：所述高位罐(12)的出口(14)通过管道依次连接调节阀(15)、流量计(16)和氯硅烷输出塔二(2)。

7、根据权利要求1所述一种高温液态氯硅烷的输送装置，其特征在于：所述冷凝器(4)高于再沸器(3)，高位罐(12)低于冷凝器(4)。

8、根据权利要求1或7所述一种高温液态氯硅烷的输送装置，其特征在于：所述调节阀(15)和流量计(16)均低于高位罐(12)。

9、根据权利要求1或7所述一种高温液态氯硅烷的输送装置，其特征在于：所述冷凝器(4)高于氯硅烷输出塔二(2)的进料口2米。