[实用新型]晶圆盒的抵推装置的组合构造

摘要

本实用新型公开一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其包含一抵推板及一支撑板。所述抵推板用以接触及抵推晶圆，其设有至少二卡合孔及至少一卡掣孔。所述支撑板可活动的设于一晶圆盒内，其设有至少二卡勾及至少一弹性勾。所述卡勾用以分别对应卡入所述抵推板的卡合孔内。所述弹性勾用以对应弹性卡入所述抵推板的卡掣孔内。各卡勾的顶面分别凸设有一防呆凸块。藉此，可确实的组合所述抵推板与所述支撑板，且容易判定所述支撑板与所述抵推板的组合状态，以减少组装错误并提高组装的效率。

主权项

1、一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其包含一抵推板，用以接触及抵推晶圆；其特征在于：所述晶圆盒的抵推装置的组合构造包含有：至少二卡合孔，其开设于所述抵推板的一第一区段；至少一卡掣孔，其开设于所述抵推板的一第二区段；一支撑板，其可活动的设于一晶圆盒内；至少二卡勾，其凸设于所述支撑板的一第一区段，用以分别对应卡入所述抵推板的至少二卡合孔内；至少一弹性勾，其凸设于所述支撑板的一第二区段，用以对应弹性卡入所述抵推板的至少一卡掣孔内；及至少二防呆凸块，其分别凸设于所述至少二卡勾的顶面上，用以辅助判定所述支撑板与所述抵推板的组合状态。