[实用新型]晶圆置放架的结构改良

摘要

本实用新型是有关于一种晶圆置放架的结构改良，包含二呈相对应设置的侧板，且各侧板是为抗酸洗的材质；多数二端是分别设置于侧板相对应的一面上且邻近各侧板的二侧及底缘的支撑杆，且各支撑杆是为抗酸洗的材质，而各支撑杆的内侧缘是设有多数相对应的嵌槽；以及多数二端分别设置于二侧板底部相对应一面上的固定杆，而各固定杆是为抗酸洗的材质。藉此，本实用新型可将所需的晶圆集中置放于晶圆置放架上，并直接置入酸洗槽中进行处理，可藉由抗酸洗材质的晶圆置放架，使晶圆在处理过程中不受其它物质的影响，而能够让晶圆达到性能稳定的功效。

主权项

1、一种晶圆置放架的结构改良，其特征在于其包括：二侧板，是呈相对应设置，且各侧板为抗酸洗的材质；多数支撑杆，其二端分别设置于上述二侧板相对应的一面上，且邻近各侧板的二侧及底缘，而各支撑杆是为抗酸洗的材质，并在各支撑杆的内侧缘设有多数相对应的嵌槽；以及多数固定杆，其二端分别设置于上述二侧板底部相对应的一面上，各固定杆是为抗酸洗的材质。