[实用新型]晶圆置放架的结构改良

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆置放架的结构改良，特别是涉及一种可以藉由抗酸洗材质的晶圆置放架，使晶圆在处理的过程中不会受其它物质的影响，而能够让晶圆达到稳定功效的晶圆置放架的结构改良。

背景技术

请参阅图1所示，是现有习用的晶圆置放架的外观立体示意图。一般现有习用的晶圆置放架5，是由呈相对应设置的二个侧板51，各侧板51上呈间隙的分别设置有多数的支撑杆52及固定杆53，并且该各支撑杆52及固定杆53的二端是分别配合设有固定组件54而与侧板51相固接，并且在各固定杆53相对应的内侧缘配合固定组件54固接设有多数的具有嵌槽551的承载单元55；藉此，可以将多数的晶圆分别设置于该承载单元55的嵌槽551中，而达到集中置放晶圆的功效。

虽然上述现有习用的晶圆置放架5可以达到集中置放晶圆的功效，但是由于各侧板51、支撑杆52、固定杆53以及固定组件54皆是为金属材质所制成，因此，当晶圆需要进行酸洗处理而将晶圆置放架5连同晶圆共同放入酸洗槽中时，该金属材质的侧板51、支撑杆52、固定杆53以及固定组件54则会一并参与酸洗反应，从而影响晶圆进行酸洗时的稳定性，使酸洗后的晶圆特性受到影响。

由此可见，上述现有的晶圆置放架在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步的改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但是长久以来一直未见有适用的结构设计被发展完成，而一般现有的产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此，如何能够创设一种新型的晶圆置放架的结构改良，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。

有鉴于上述现有的晶圆置放架所存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及其专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型的晶圆置放架的结构改良，能够改进一般现有的晶圆置放架，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本实用新型。

发明内容

本实用新型的主要目的在于，克服现有的晶圆置放架存在的缺陷，而提供一种新型的晶圆置放架的结构改良，所要解决的技术问题是使其可将所需的晶圆集中置放于晶圆置放架上，并直接置入酸洗槽中进行处理，可藉由抗酸洗材质的晶圆置放架，使晶圆在处理过程中不受其它物质的影响，而能够让晶圆达到稳定的功效，非常适于实用。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种晶圆置放架的结构改良，其包括：二侧板，是呈相对应设置，且各侧板为抗酸洗的材质；多数支撑杆，其二端分别设置于上述二侧板相对应的一面上，且邻近各侧板的二侧及底缘，而各支撑杆是为抗酸洗的材质，并在各支撑杆的内侧缘设有多数相对应的嵌槽；以及多数固定杆，其二端分别设置于上述二侧板底部相对应的一面上，各固定杆是为抗酸洗的材质。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施来进一步实现。

前述的晶圆置放架的结构改良，其中所述的各侧板相对应的一面上设有多数与各支撑杆及固定杆二端相结合的定位槽。

前述的晶圆置放架的结构改良，其中所述的侧板的外侧面上设有一容置槽，该容置槽中具有一芯片，且该容置槽的开口处盖设有一封闭板。

前述的晶圆置放架的结构改良，其中所述的各支撑杆的二端分别具有一与侧板相结合的插接部。

前述的晶圆置放架的结构改良，其中所述的各固定杆的二端分别具有一与侧板相结合的插接部。

本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。经由以上可知，为了达到上述目的，本实用新型提供了一种晶圆置放架的结构改良，包含二呈相对应设置的侧板，且各侧板是为抗酸洗的材质；多数二端分别设置于侧板相对应的一面上且邻近各侧板的二侧及底缘的支撑杆，且各支撑杆是为抗酸洗的材质，而各支撑杆的内侧缘设有多数相对应的嵌槽；以及多数二端分别设置于二侧板底部相对应一面上的固定杆，而各固定杆是为抗酸洗的材质。

借由上述技术方案，本实用新型晶圆置放架的结构改良至少具有下列优点及有益效果：本实用新型可以有效的改善现有习用晶圆置放架存在的种种缺点，可以将所需的晶圆集中置放于晶圆置放架上，并直接置入酸洗槽中进行处理，可藉由抗酸洗材质的晶圆置放架，使晶圆在处理过程中不受其它物质的影响，而能够让晶圆达到性能稳定的功效，进而使本实用新型具有技术更进步、更实用、更符合使用者所需的功效。