[实用新型]晶圆置放架的结构改良

权利要求书

1、一种晶圆置放架的结构改良，其特征在于其包括：

二侧板，是呈相对应设置，且各侧板为抗酸洗的材质；

多数支撑杆，其二端分别设置于上述二侧板相对应的一面上，且邻近各侧板的二侧及底缘，而各支撑杆是为抗酸洗的材质，并在各支撑杆的内侧缘设有多数相对应的嵌槽；以及

多数固定杆，其二端分别设置于上述二侧板底部相对应的一面上，各固定杆是为抗酸洗的材质。

2、根据权利要求1所述的晶圆置放架的结构改良，其特征在于其中所述的各侧板相对应的一面上设有多数与各支撑杆及固定杆二端相结合的定位槽。

3、根据权利要求1所述的晶圆置放架的结构改良，其特征在于其中所述的侧板的外侧面上设有一容置槽，该容置槽中具有一芯片，且该容置槽的开口处盖设有一封闭板。

4、根据权利要求1所述的晶圆置放架的结构改良，其特征在于其中所述的各支撑杆的二端分别具有一与侧板相结合的插接部。

5、根据权利要求1所述的晶圆置放架的结构改良，其特征在于其中所述的各固定杆的二端分别具有一与侧板相结合的插接部。