[发明专利]用于探测半导体晶片的可替换探针装置

摘要

一种探针装置提供有多个探针瓦片，用于接收该探针瓦片的可互换板，布置在各个探针瓦片和可互换板上的接收孔之间的浮板，以及提供多维自由度运动以控制探针瓦片相对于各个可互换板的接收孔的位置的控制机构。一种控制浮板的方法也被提供，通过：将一对操纵杆插入布置在浮板上的两个各个调节孔中以及移动该对操纵杆以提供浮板的平移运动(X-Y)和旋转(θ)运动，以及顺时针和逆时针转动该对千斤顶螺钉以提供浮板的平移运动(Z)和两个旋转(俯仰和滚动)运动。

主权项

1. 一种探针装置，包括：具有至少一个接收孔的可互换板；置于至少一个接收孔中的至少一个探针瓦片；至少一个浮板，该至少一个浮板布置在各个探针瓦片与接收孔之间；以及提供多维自由度运动以控制探针瓦片与可互换板的各个接收孔的相对位置的控制机构。