[发明专利]用于探测半导体晶片的可替换探针装置

权利要求书

1.一种探针装置，包括：

具有至少一个接收孔的可互换板；

置于至少一个接收孔中的至少一个探针瓦片；

至少一个浮板，该至少一个浮板布置在各个探针瓦片与接收孔之间，

所述浮板包括至少一个用于接收限制螺钉以将浮板安装于可互换板上的限 制槽，至少一个千斤顶螺钉，以及至少一个用于接收“操纵杆”式的杆的调节孔； 以及

所述至少一个千斤顶螺钉和所述至少一个调节孔提供了控制机构，所述控制 机构提供多维自由度运动以控制探针瓦片与可互换板的各个接收孔的相对位 置。

2.根据权利要求1的探针装置，其特征在于，多维自由度运动包括由“操纵 杆”式的杆控制的X-Y平移运动和旋转运动，以及由至少一个千斤顶螺钉控制 的Z平移运动和俯仰、滚动运动。

3.根据权利要求1的探针装置，其特征在于，探针瓦片是自备的单元并且 可以从各个接收孔移除或者替换。

4.一种控制探针装置的浮板的方法，包括：

提供一对安装在浮板上的千斤顶螺钉；

将一对操纵杆插入布置在浮板上的两个相应的调节孔中；以及

移动该对操纵杆以提供浮板的X-Y平移运动和旋转运动。

5.根据权利要求4的方法，其特征在于，进一步包括：

顺时针和逆时针转动所述一对千斤顶螺钉以提供浮板的Z平移运动和两个 旋转运动。

6.一种探针装置，包括：

具有至少一个接收孔的可互换板；

置于至少一个接收孔中的至少一个探针瓦片；

至少一个浮板，该至少一个浮板布置在各个探针瓦片与接收孔之间，所述浮 板包括至少一个千斤顶螺钉，以及至少一个用于接收“操纵杆”式的杆的调节孔； 以及

所述至少一个千斤顶螺钉和所述至少一个调节孔提供了控制机构，所述控制 机构提供多维自由度运动以控制探针瓦片与可互换板的各个接收孔的相对位 置。

7.一种用于将探针瓦片安装到探针装置的浮板，包括：

至少一个用于接收限制螺钉以将浮板安装于可互换板上的限制槽；以及

控制机构，包括：

至少一个千斤顶螺钉；以及

至少一个用于接收“操纵杆”式的杆的调节孔。

8.如权利要求7所述的浮板，其特征在于，所述至少一个千斤顶螺钉包括 放置在所述浮板相对侧上的一对千斤顶螺钉。

9.如权利要求7所述的浮板，其特征在于，所述至少一个调节孔包括放置 所述浮板相对侧上的一对调节孔。

10.如权利要求7所述的浮板，其特征在于，还包括接收探针瓦片的一 部分的孔。

11.如权利要求8所述的浮板，其特征在于，所述孔设置在所述浮板的 中央区域。

12.如权利要求8所述的浮板，其特征在于，还包括可安装探针瓦片的 至少一个安装孔。