[发明专利]传动机构的表面镀膜方法无效

专利信息
申请号: 200810211839.4 申请日: 2008-09-09
公开(公告)号: CN101671814A 公开(公告)日: 2010-03-17
发明(设计)人: 林玉雪 申请(专利权)人: 林玉雪
主分类号: C23C16/32 分类号: C23C16/32;C23C16/42;C23C16/455;C23C16/52
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 梁 挥;祁建国
地址: 台湾省*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种传动机构的表面镀膜方法,包括以下步骤:提供一传动机构;清洁该传动机构的表面;将该传动机构设置于一工作环境,在该工作环境中导入一氢气与一四甲基硅烷(Tetra-methylsilane;TMS;Si(CH3)4)气体,施加一功率为800~1500瓦的外加电力而在该工作环境中产生一偏压电场,以便在该传动机构的表面形成一附着膜;在附着膜的表面形成一混合膜;以及在混合膜的表面形成一非晶质类钻石(diamond-like carbon;DLC)膜,以便制成一镀膜传动机构。在混合膜中,越远离传动机构处,非晶质DLC材料的含量越高。通过本发明方法可以有效确保镀膜传动机构具备较高的表面硬度,进而提升镀膜传动机构的抗磨损能力与使用寿命。
搜索关键词: 传动 机构 表面 镀膜 方法
【主权项】:
1、一种传动机构的表面镀膜方法,其特征在于,包括以下步骤:(a)提供一传动机构;(b)清洁该传动机构的表面;(c)将该传动机构设置于一工作环境中,导入一氢气与一四甲基硅烷(Tetra-methylsilane;TMS;Si(CH3)4)气体至该工作环境中,施加一外加电力而在该工作环境中产生一偏压电场,将该偏压电场的一偏压值控制在400~700伏特(V),并将该外加电力的功率控制在800~1500瓦(W),借以在该传动机构的表面形成一附着膜;(d)导入该氢气、该TMS气体与一烃类(hydrocarbon)气体至该工作环境中,将该偏压值控制在400~700V,并将该外加电力的功率控制在800~1500W,借以在该附着膜的表面形成一混合膜,使该混合膜含有一非晶质类钻石材料与该附着膜所含的成分,且在该混合膜中,越远离该传动机构处,该非晶质类钻石材料的含量越高;以及(e)导入该氢气、该TMS气体与该烃类气体至该工作环境中,将该偏压值控制在400~700V,并将该外加电力的功率控制在800~1500W,借以在该混合膜的表面形成一非晶质类钻石膜,进而制成一镀膜传动机构。
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